Wat is vakuumbedekking?
Vakuumbedekking is 'n gevorderde tegnologie wat funksionele dun films op die oppervlak van substrate neerlê deur fisiese of chemiese metodes in 'n vakuumomgewing. Die kernwaarde daarvan lê in hoë suiwerheid, hoë presisie en omgewingsbeskerming, en word wyd gebruik in optika, elektronika, gereedskap, nuwe energie en ander velde.
Moet die vakuumbedekkingstelsel met inlaatfilters toegerus wees?
Eerstens, laat ons leer wat die algemene besoedelingstowwe in vakuumbedekking is. Byvoorbeeld, deeltjies, stof, oliedamp, waterdamp, ens. Hierdie besoedelingstowwe wat die bedekkingskamer binnedring, sal veroorsaak dat die afsettingstempo afneem, die filmlaag ongelyk word, en selfs die toerusting beskadig.
Die situasie waar vakuumbedekking wel inlaatfilters benodig
- Tydens die bedekkingsproses spat die teikenmateriaal deeltjies.
- Die suiwerheidsvereiste van die filmlaag is hoog, veral op die gebied van optika en halfgeleiers.
- Daar is korrosiewe gasse (wat maklik tydens reaktiewe verstuiwing geproduseer word). In hierdie geval word die filter hoofsaaklik geïnstalleer om die vakuumpomp te beskerm.
Die situasie waar vakuumbedekking nie inlaatfilters benodig nie
- Baie vakuumbedekkingsdiensverskaffers gebruik 'n heeltemal olievrye hoëvakuumstelsel (soos molekulêre pomp + ioonpomp), en die werksomgewing is skoon. Daarom is daar geen behoefte aan inlaatfilters of selfs uitlaatfilters nie.
- Daar is nog 'n situasie waar inlaatfilters nie benodig word nie, dit wil sê, die suiwerheidsvereiste van die filmlaag is nie hoog nie, soos vir sommige dekoratiewe bedekkings.
Ander oor olie-diffusiepomp
- Indien 'n oliepomp of oliediffusiepomp gebruik word,uitlaatfiltermoet geïnstalleer word.
- Polimeerfilterelement is nie bestand teen hoë temperatuur van diffusiepomp nie
- Wanneer 'n oliediffusiepomp gebruik word, kan die pompolie terugvloei en die bedekkingskamer besoedel. Daarom is 'n koue lokval of oliekeerplaat nodig om die ongeluk te voorkom.
Ten slotte, of die vakuumbedekkingstelsel nodig isinlaatfiltershang af van prosesvereistes, stelselontwerp en kontaminasierisiko.
Plasingstyd: 19 Apr-2025
