በተራቀቀ ማምረቻ ውስጥ የተለመደ ጥያቄ፡ ኤሌክትሮን ቢም ብየዳ (EBW) የቫኩም ፓምፕ ያስፈልገዋል? መልሱ አጭሩ አዎ ነው፣ በአብዛኛዎቹ ጉዳዮች። የቫኩም ፓምፑ ተጨማሪ መገልገያ ብቻ ሳይሆን የመደበኛው ኢቢደብሊው ሥርዓት ልብ ነው፣ ይህም ልዩ ችሎታዎቹን ያስችለዋል።
የ EBW እምብርት ከፍተኛ ፍጥነት ያለው ኤሌክትሮኖች ለመቅለጥ እና ቁሳቁሶችን ለማዋሃድ ያተኮረ ዥረት መፍጠርን ያካትታል። ይህ ሂደት ለጋዝ ሞለኪውሎች በተለየ ሁኔታ ስሜታዊ ነው. ቫክዩም ባልሆነ አካባቢ እነዚህ ሞለኪውሎች ከኤሌክትሮኖች ጋር ይጋጫሉ፣ ይህም ጨረሩ እንዲበታተን፣ ሃይል እንዲያጣ እና ትኩረት እንዲስብ ያደርጋል። ውጤቱ ሰፊ፣ ትክክለኛ ያልሆነ እና ውጤታማ ያልሆነ ብየዳ፣ የEBWን ትክክለኛ ትክክለኛነት እና ጥልቅ የመግባት ዓላማን ሙሉ በሙሉ የሚያሸንፍ ይሆናል። በተጨማሪም ኤሌክትሮኖችን የሚያመነጨው የኤሌክትሮን ሽጉጥ ካቶድ እጅግ በጣም ከፍተኛ በሆነ የሙቀት መጠን ይሠራል እና ለአየር ከተጋለጡ ኦክሳይድ እና ወዲያውኑ ይቃጠላል።
ስለዚህ፣ ከፍተኛ-ቫክዩም ኢቢደብሊውዩ፣ በጣም የተስፋፋው፣ ንፁህ አካባቢን፣ በተለይም ከ10⁻² እስከ 10⁻ ፒኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ.ኤ. አ.አ. ሻካራ ፓምፕ በመጀመሪያ የከባቢ አየርን አብዛኛውን ክፍል ያስወግዳል፣ ከዚያም ከፍተኛ የቫኩም ፓምፕ፣ እንደ ስርጭት ወይም ቱርቦሞለኩላር ፓምፕ፣ ይህም ለተመቻቸ ስራ አስፈላጊ የሆኑትን ንፁህ ሁኔታዎችን ይፈጥራል። ይህ ከብክለት የጸዳ፣ ከፍተኛ ጥራት ያለው ብየዳ ያረጋግጣል፣ ይህም ለኤሮስፔስ፣ ለህክምና እና ሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች አስፈላጊ ያደርገዋል።
መካከለኛ ወይም Soft-Vacuum EBW በመባል የሚታወቀው ልዩነት በከፍተኛ ግፊት (ከ1-10 ፓኤ አካባቢ) ይሰራል። ለተሻለ ምርታማነት የፓምፑ መውረድ ጊዜን በእጅጉ የሚቀንስ ቢሆንም ይህን ቁጥጥር እና ዝቅተኛ ግፊት ያለው አካባቢ ከመጠን በላይ መበታተንን እና ኦክሳይድን ለመከላከል አሁንም የቫኩም ፓምፖችን ይፈልጋል።
ልዩነቱ ቫክዩም ያልሆነ ኢቢደብሊው ነው፣ ብየዳው የሚከናወነው በክፍት ከባቢ አየር ውስጥ ነው። ሆኖም, ይህ አሳሳች ነው. የ workpiece ክፍል ተወግዷል ሳለ, የኤሌክትሮን ሽጉጥ ራሱ አሁንም ከፍተኛ ቫክዩም ሥር ይቆያል. ጨረሩ ወደ አየር ውስጥ በሚገቡት ተከታታይ ልዩ ልዩ የግፊት ክፍተቶች በኩል ይገለጻል። ይህ ዘዴ ጉልህ በሆነ የጨረር መበታተን ይሰቃያል እና ጥብቅ የኤክስሬይ መከላከያ ያስፈልገዋል, አጠቃቀሙን ለተወሰኑ ከፍተኛ መጠን ያላቸውን መተግበሪያዎች ይገድባል.
በማጠቃለያው ፣ በኤሌክትሮን ጨረር እና በቫኩም ፓምፕ መካከል ያለው ውህደት ይህንን ኃይለኛ ቴክኖሎጂ የሚወስነው ነው። ኢቢደብሊው የሚታወቅበትን ከፍተኛ ጥራት እና ትክክለኛነትን ለማግኘት የቫኩም ፓምፑ አማራጭ አይደለም - መሠረታዊ አስፈላጊነት ነው።
የልጥፍ ሰዓት፡- ህዳር-10-2025
