تُعدّ تكنولوجيا أشباه الموصلات الركيزة الأساسية للصناعة الحديثة، إذ تُتيح التحكم الدقيق ونقل الإشارات عبر تطبيقات متنوعة، من الأجهزة الإلكترونية وأنظمة الاتصالات إلى الذكاء الاصطناعي وقطاعات الطاقة الجديدة. ومن بين مختلف مواد أشباه الموصلات، يحتل السيليكون أحادي البلورة مكانة لا تُضاهى، إذ يُحدد نقاؤه أداء الأجهزة وكفاءة تحويل الطاقة بشكل مباشر.
يتطلب إنتاج السيليكون أحادي البلورة بيئات متخصصة، تُعرف عادةً بعمليات سحب البلورات. تلعب تقنية التفريغ دورًا حاسمًا في إزالة الهواء والشوائب، مما يوفر مساحة فائقة النظافة لنمو بلورات السيليكون. للحفاظ على نظافة حجرة التفريغ وحماية مضخة التفريغ، يجب اختيار فني متخصص.فلتر غبار مضخة التفريغ.
الدور الحاسم لمرشحات غبار المضخة الفراغية في صناعة أشباه الموصلات
مرشحات الغبار لمضخة التفريغتعمل كحواجز أساسية تضمن استقرار تشغيل أنظمة التفريغ. فهي تعترض بفعالية جزيئات الغبار التي قد تدخل مضخة التفريغ، مما يمنع التآكل الميكانيكي وانسداد دائرة الزيت. في بيئات تصنيع أشباه الموصلات، حتى الجزيئات التي يقل حجمها عن الميكرون قد تُسبب عيوبًا في الشبكة، مما يؤثر على أداء الشريحة ومعدلات إنتاجها.
اعتبارات رئيسية لاختيار المرشح في صناعة أشباه الموصلات
1. دقة الترشيح:يجب اختيار مستويات الترشيح المناسبة وفقًا لمتطلبات العملية، والتي تتطلب عادةً دقة ترشيح تبلغ 0.1 ميكرون أو أفضل
2. توافق المواد:يجب أن تكون مواد الفلتر متوافقة مع غازات العملية وبيئات الفراغ، وعادةً ما تتطلب الفولاذ المقاوم للصدأ أو السبائك الخاصة
3. قدرة الاحتفاظ بالغبار:مع الحفاظ على دقة الترشيح، هناك حاجة إلى سعة كافية لاحتجاز الغبار لتمديد عمر الخدمة
4. خصائص انخفاض الضغط: يجب التحكم في كل من انخفاض الضغط الأولي والنهائي ضمن نطاقات معقولة
المتطلبات الخاصة للمرشحات لصناعة أشباه الموصلات
يفرض تصنيع أشباه الموصلات متطلبات عالية للغاية على البيئات الفراغية:
- متطلبات النظافة: الحفاظ على بيئات نظيفة من الدرجة 10 أو أفضل
- متطلبات الاستقرار: الصيانة طويلة الأمد لمستويات الفراغ المستقرة
- مكافحة التلوث: تجنب أي تلوث محتمل ببخار الزيت أو الجسيمات
حلول الترشيح الموصى بها لصناعة أشباه الموصلات
بالنسبة لصناعة أشباه الموصلات، يوصى باستخدام نظام ترشيح متعدد المراحل:
1.المرشحات المسبقة:اعتراض الجسيمات الأكبر لحماية مرشحات الدقة اللاحقة
2. المرشحات الرئيسية:استخدام مواد الترشيح عالية الكفاءة لضمان الدقة المطلوبة
3. المرشحات الكيميائية (عند الحاجة): إزالة الملوثات الغازية المحتملة
اختيار المناسبمرشحات مضخة التفريغلا يعمل فقط على إطالة عمر خدمة المعدات، بل يضمن أيضًا استقرار العملية ومعدلات إنتاج المنتج، مما يوفر حماية موثوقة للإنتاج المستمر على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات.
وقت النشر: ٢٦ أغسطس ٢٠٢٥
