Vakuum örtük nədir?
Vakuum örtük, vakuum mühitində fiziki və ya kimyəvi üsullarla alt təbəqələrin səthində funksional nazik təbəqələri yatıran qabaqcıl texnologiyadır. Onun əsas dəyəri yüksək təmizlik, yüksək dəqiqlik və ətraf mühitin qorunmasıdır və optika, elektronika, alətlər, yeni enerji və digər sahələrdə geniş istifadə olunur.
Vakuum örtük sistemini giriş filtrləri ilə təchiz etmək lazımdırmı?
Əvvəlcə vakuum örtüklərində ümumi çirkləndiricilərin nə olduğunu öyrənək. Məsələn, hissəciklər, toz, yağ buxarı, su buxarı və s.. Örtmə kamerasına daxil olan bu çirkləndiricilər çökmə sürətinin azalmasına, plyonka təbəqəsinin qeyri-bərabər olmasına və hətta avadanlıqların zədələnməsinə səbəb olacaq.
Vakuum örtüyünün giriş filtrləri tələb etdiyi vəziyyət
- Kaplama prosesi zamanı hədəf material hissəcikləri sıçrayır.
- Film təbəqəsinin təmizlik tələbi xüsusilə optika və yarımkeçiricilər sahələrində yüksəkdir.
- Aşındırıcı qazlar var (reaktiv püskürmə zamanı asanlıqla əmələ gəlir). Bu halda, filtr əsasən vakuum nasosunu qorumaq üçün quraşdırılır.
Vakuum örtüyünün giriş filtrlərini tələb etmədiyi vəziyyət
- Bir çox vakuum örtük xidməti təminatçıları tamamilə yağsız yüksək vakuum sistemindən (məsələn, molekulyar nasos + ion pompası) istifadə edir və iş mühiti təmizdir. Buna görə də giriş filtrlərinə, hətta egzoz filtrlərinə ehtiyac yoxdur.
- Giriş filtrlərinin tələb olunmadığı başqa bir vəziyyət var, yəni film təbəqəsinin təmizlik tələbi yüksək deyil, məsələn, bəzi dekorativ örtüklər üçün.
Yağ diffuziya pompası haqqında digərləri
- Yağ pompası və ya yağ diffuziya pompası istifadə edilərsə,egzoz filtriquraşdırılmalıdır.
- Polimer filtr elementi diffuziya nasosunun yüksək temperaturuna davamlı deyil
- Yağ diffuziya nasosundan istifadə edərkən, nasos yağı geri axaraq örtük kamerasını çirkləndirə bilər. Buna görə də, qəzanın qarşısını almaq üçün soyuq tələ və ya yağ qabığı tələb olunur.
Nəticə olaraq, vakuum örtük sisteminə ehtiyac olub olmadığınıgiriş filtrləriproses tələblərindən, sistemin dizaynından və çirklənmə riskindən asılıdır.
Göndərmə vaxtı: 19 aprel 2025-ci il
