Nazik təbəqənin çökməsinin mürəkkəb dünyasında elektron şüası (e-şüa) buxarlanması yüksək təmizlik, sıx örtüklər yaratmaq qabiliyyəti ilə seçilir. Bu texnologiyanı əhatə edən əsas sual onun vakuum nasosunun tələb olunub-olunmamasıdır. Cavab birmənalı bəlidir. Yüksək performanslı vakuum sistemi sadəcə bir aksesuar deyil, prosesin effektiv və səmərəli işləməsi üçün mütləq ilkin şərtdir.
Elektron şüanın buxarlanmasının əsas hissəsi yüksək enerjili elektron şüasının su ilə soyudulmuş potda olan mənbə materialına (məsələn, qızıl, silikon oksid və ya alüminium) fokuslanmasını əhatə edir. Güclü yerli istilik materialın əriməsinə və buxarlanmasına səbəb olur. Bu buxarlanmış atomlar daha sonra görmə xətti ilə hərəkət edir və bir substratda kondensasiya edərək nazik bir təbəqə əmələ gətirir. Bütün bu ardıcıllıq kritik dərəcədə yüksək vakuumlu mühitdən asılıdır, adətən 10⁻³ Pa ilə 10⁻⁶ Pa aralığındadır.
Belə bir ifrat vakuumun zərurəti üçqatdır. Birincisi, elektron şüasının maneəsiz hərəkətini təmin edir. Həddindən artıq qaz molekullarının mövcudluğunda elektronlar səpələnir və toqquşur, enerjilərini itirir və konsentrasiya edilmiş istiliyi hədəfə çatdıra bilmir. Şüa fokuslanaraq prosesi səmərəsiz edərdi.
İkincisi və ən əsası, vakuum mühiti qoyulmuş filmin təmizliyinə və keyfiyyətinə zəmanət verir. Bu olmasaydı, oksigen və su buxarı kimi qalıq qazlar örtüyü iki dağıdıcı yolla çirkləndirərdi: onlar buxarlanmış materialla kimyəvi reaksiyaya girərək arzuolunmaz oksidlər əmələ gətirər və onlar artan filmə çirk kimi daxil olarlar. Bu, məsaməli, daha az yapışqan və aşağı mexaniki və optik xüsusiyyətlərə malik bir filmlə nəticələnir. Yüksək vakuum buxarlanmış atomlar üçün təmiz, "balistik" yol yaradır və onların sıx, vahid və yüksək bütövlükdə bir təbəqəyə çevrilməsinə imkan verir.
Nəhayət, vakuum elektron silahın filamentini qoruyur. Elektronları yayan termionik katod son dərəcə yüksək temperaturda işləyir və havaya məruz qaldıqda demək olar ki, dərhal oksidləşir və yanır.
Buna görə də, kobud nasosları və turbomolekulyar və ya diffuziya nasosları kimi yüksək vakuumlu nasosları birləşdirən mürəkkəb nasos sistemi əvəzolunmazdır. Nəticə olaraq, vakuum nasosu təkcə elektron şüalarının buxarlanmasını təmin etmir; yarımkeçiricilərdən tutmuş optikaya qədər sənayelərin tələb etdiyi yüksək performanslı örtüklərin istehsalı üçün vacib olan qırılmaz bir əlaqə meydana gətirərək onu müəyyən edir. Həm də olmalıdırfiltrlərvakuum nasoslarını qorumaq üçün, əgər yoxdursa,bizimlə əlaqə saxlayın.
Göndərmə vaxtı: 12 noyabr 2025-ci il
