Əsas fiziki buxar çökdürmə (PVD) prosesi olan buxarlanma örtüyü əsasən vakuum texnologiyasına əsaslanır. Vakuum nasosu sadəcə köməkçi bir cihaz deyil, həm də yüksək dərəcədə idarə olunan molekulyar miqyaslı mühit yaratmaq və saxlamaqla bütün prosesi təmin edən təməl daşıdır. Onun funksiyası sadə hava çıxarılmasından daha genişdir və yüksək keyfiyyətli funksional nazik təbəqələrin çökdürülməsi üçün tələb olunan dəqiq fiziki şərtləri müəyyən edir.
Yüksək vakuum tələb etməsinin əsas səbəbi buxarlanmış hissəciklərin düz xətt boyunca hərəkətini təmin etməkdir. Atmosfer təzyiqində qaz molekullarının yüksək sıxlığı dərhal və təsadüfi toqquşmalara səbəb olur və örtük materialını səpələyir. Yüksək vakuum altında (adətən 10⁻⁴ - 10⁻⁶ mbar) buxarlanmış atomların və ya molekulların orta sərbəst yolu bir neçə metrə qədər kəskin şəkildə artır və bu da onların mənbədən substrata birbaşa hərəkət etməsinə imkan verir. Bu, təbəqə qalınlığına, vahidliyinə və tərkibinə dəqiq nəzarət etməyə imkan verir.
Bundan əlavə, yüksək vakuum mühiti oksidləşmə və çirklənmənin qarşısını alır. Əksər metallar (məsələn, alüminium, xrom) və birləşmələr buxarlanma temperaturlarında yüksək reaktivliyə malikdir. Oksigen və su buxarı kimi reaktiv qazların demək olar ki, aradan qaldırılması materialların təmiz, metal vəziyyətində çökməsini təmin edir ki, bu da son örtükdə spesifik optik, elektrik və ya mexaniki xüsusiyyətlərə nail olmaq üçün vacibdir. Bu mühit həmçinin güclü film yapışması üçün vacib olan çirkləndiriciləri desorbsiya edərək atom baxımından təmiz substrat səthi təmin edir.
Vakuum nasos sistemi ətraf mühit mühəndisi kimi fəaliyyət göstərir. O, tələb olunan baza təzyiqini tez bir zamanda yaratmalı, materiallardan və qurğulardan qazın çıxmasını aradan qaldıraraq dinamik şəkildə sabitliyi qorumalı və reaktiv proseslərdə yan məhsulları idarə etməlidir. Bu sabitlik ardıcıl seriyadan seriyaya istehsal keyfiyyəti üçün vacibdir.
Filtrləmə üçün vacib ehtiyac bu dəqiq sistemin qorunmasından irəli gəlir. Örtük prosesinin özü incə hissəciklər, sıçrayan damcılar və ya kondensasiya olunan buxarlar yarada bilər. Lazımi tədbirlər olmadangiriş filtri, bu çirkləndiricilər vakuum nasosuna geri çəkilə bilər. Bu, rotorların və pərlərin aşınmasının artmasına, nasos yağının çirklənməsinə (yağla möhürlənmiş sistemlərdə) və nasos sürətinin və son vakuumun tədricən pisləşməsinə gətirib çıxarır. Nəticədə, bu, prosesin sabitliyini pozur, nasosun xidmət müddətini qısaldır və texniki xidmət xərclərini artırır. Buna görə də, hissəcik filtrləri, molekulyar tələlər və ya soyuq tələlər kimi müvafiq filtrlərin quraşdırılması könüllü deyil, vakuum nasosunun qorunması, davamlı örtük keyfiyyətinin təmin edilməsi və istehsalın işləmə müddətinin qorunması üçün vacib bir investisiyadır.
Ümumilikdə, vakuum nasosları material daşınması və təbəqə əmələ gəlməsi üçün təmiz, çirklənməmiş və nəzarətli bir mühit təmin etməklə buxarlanma örtüyünü təmin edir. Bu qabiliyyətin etibarlı, yüksək performanslı və iqtisadi cəhətdən sərfəli nazik təbəqə istehsalına nail olmaq üçün güclü filtrasiya strategiyası ilə birləşdirilməsi vacibdir.
Yazı vaxtı: 25 Dekabr 2025
