Што такое вакуумнае пакрыццё?
Вакуумнае пакрыццё — гэта перадавая тэхналогія, якая дазваляе нанесці функцыянальныя тонкія плёнкі на паверхню падкладак з дапамогай фізічных або хімічных метадаў у вакуумным асяроддзі. Яе асноўная каштоўнасць заключаецца ў высокай чысціні, высокай дакладнасці і ахове навакольнага асяроддзя, і яна шырока выкарыстоўваецца ў оптыцы, электроніцы, інструментах, новай энергетыцы і іншых галінах.
Ці патрэбна сістэма вакуумнага пакрыцця абсталяваць уваходнымі фільтрамі?
Па-першае, давайце даведаемся, якія забруджвальнікі з'яўляюцца распаўсюджанымі пры вакуумным пакрыцці. Напрыклад, часціцы, пыл, алейныя пары, вадзяная пара і г.д. Гэтыя забруджвальнікі, якія трапляюць у камеру для пакрыцця, прыводзяць да зніжэння хуткасці нанясення пакрыцця, няроўнасці пласта плёнкі і нават да пашкоджання абсталявання.
Сітуацыя, калі вакуумнае пакрыццё патрабуе ўваходных фільтраў
- Падчас працэсу нанясення пакрыцця мэтавы матэрыял разбрызгвае часціцы.
- Патрабаванні да чысціні плёнкавага пласта высокія, асабліва ў галіне оптыкі і паўправаднікоў.
- Прысутнічаюць агрэсіўныя газы (якія лёгка ўтвараюцца пры рэактыўным распыленні). У гэтым выпадку фільтр усталёўваецца ў асноўным для абароны вакуумнага помпы.
Сітуацыя, калі вакуумнае пакрыццё не патрабуе ўваходных фільтраў
- Многія пастаўшчыкі паслуг вакуумнага пакрыцця выкарыстоўваюць цалкам безмасляныя сістэмы высокага вакууму (напрыклад, малекулярны помпа + іённы помпа), і працоўнае асяроддзе чыстае. Такім чынам, няма неабходнасці ў ўваходных або нават выхадных фільтрах.
- Існуе і іншая сітуацыя, калі ўваходныя фільтры не патрабуюцца, гэта значыць патрабаванні да чысціні плёнкавага пласта невысокія, напрыклад, для некаторых дэкаратыўных пакрыццяў.
Іншыя пра дыфузійны помпа для алею
- Калі выкарыстоўваецца алейны помпа або алейны дыфузійны помпа,выхлапны фільтрпавінен быць усталяваны.
- Палімерны фільтруючы элемент не ўстойлівы да высокай тэмпературы дыфузійнага помпы
- Пры выкарыстанні алейнага дыфузійнага помпы алей з помпы можа сцякаць назад і забруджваць камеру для пакрыцця. Таму для прадухілення аварыі патрабуецца халодная пастка або алейная перагародка.
У заключэнне, ці патрэбна сістэма вакуумнага пакрыццяўваходныя фільтрызалежыць ад патрабаванняў працэсу, канструкцыі сістэмы і рызыкі забруджвання.
Час публікацыі: 19 красавіка 2025 г.
