У складаным свеце нанясення тонкіх плёнак электронна-прамянёвае выпарэнне вылучаецца сваёй здольнасцю ствараць высакаякасныя, шчыльныя пакрыцці. Фундаментальнае пытанне, якое ўзнікае вакол гэтай тэхналогіі, — ці патрабуецца для яе вакуумны помпа. Адказ — адназначна станоўчы. Высокапрадукцыйная вакуумная сістэма — гэта не проста аксэсуар, а абсалютная перадумова для эфектыўнага і дзейснага функцыянавання працэсу.
Аснова электронна-прамянёвага выпарэння заключаецца ў факусоўцы высокаэнергетычнага электроннага пучка на зыходным матэрыяле (напрыклад, золата, аксід крэмнію або алюміній), які змяшчаецца ў тыглі з вадзяным ахаладжэннем. Інтэнсіўнае лакальнае награванне прыводзіць да плаўлення і выпарэння матэрыялу. Затым гэтыя выпарыліся атамы рухаюцца па траекторыі прамой бачнасці і кандэнсуюцца на падкладцы, утвараючы тонкую плёнку. Уся гэтая паслядоўнасць крытычна залежыць ад асяроддзя высокага вакууму, звычайна ў дыяпазоне ад 10⁻³ Па да 10⁻⁶ Па.
Неабходнасць такога экстрэмальнага вакууму мае тры аспекты. Па-першае, ён забяспечвае бесперашкоднае праходжанне электроннага пучка. Пры наяўнасці занадта вялікай колькасці малекул газу электроны будуць рассейвацца і сутыкацца, губляючы сваю энергію і не маючы магчымасці перадаць канцэнтраванае цяпло мішэні. Пучок расфакусуецца, што зробіць працэс неэфектыўным.
Па-другое, і гэта самае галоўнае, вакуумнае асяроддзе гарантуе чысціню і якасць напыленай плёнкі. Без яго рэшткавыя газы, такія як кісларод і вадзяная пара, забруджвалі б пакрыццё двума разбуральнымі спосабамі: яны б хімічна рэагавалі з выпараным матэрыялам, утвараючы непажаданыя аксіды, і яны б уключаліся ў расце плёнку ў выглядзе прымешак. У выніку атрымліваецца плёнка, якая з'яўляецца сітаватай, менш адгезійнай і валодае горшымі механічнымі і аптычнымі ўласцівасцямі. Высокі вакуум стварае чысты, «балістычны» шлях для выпараных атамаў, дазваляючы ім кандэнсавацца ў шчыльны, аднастайны і высокацэласны пласт.
Нарэшце, вакуум абараняе нітку электроннай гарматы. Тэрмаіённы катод, які выпраменьвае электроны, працуе пры надзвычай высокіх тэмпературах і амаль імгненна акісляецца і згарае пры кантакце з паветрам.
Такім чынам, складаная сістэма помпаў, якая спалучае ў сабе грубыя помпы і высокавакуумныя помпы, такія як турбамалекулярныя або дыфузійныя помпы, неабходная. У заключэнне, вакуумная помпа не толькі забяспечвае электронна-прамянёвае выпарэнне; яна вызначае яго, утвараючы непарушную сувязь, якая неабходная для атрымання высокапрадукцыйных пакрыццяў, запатрабаваных у розных галінах прамысловасці, ад паўправаднікоў да оптыкі. Таксама павінна быцьфільтрыдля абароны вакуумных помпаў, калі іх няма,звяжыцеся з намі.
Час публікацыі: 12 лістапада 2025 г.
