Выпарнае пакрыццё, асноўны працэс фізічнага асаджэння з паравой фазы (PVD), у аснове сваёй абапіраецца на вакуумную тэхналогію. Вакуумны помпа — гэта не проста дапаможная прылада, а краевугольны камень, які забяспечвае ўвесь працэс, ствараючы і падтрымліваючы высокакантраляванае асяроддзе малекулярнага маштабу. Яго функцыя выходзіць далёка за рамкі простага выдалення паветра, усталёўваючы дакладныя фізічныя ўмовы, неабходныя для нанясення высакаякасных функцыянальных тонкіх плёнак.
Асноўная прычына неабходнасці высокага вакууму — забеспячэнне прамалінейнага руху выпарваных часціц. Пры атмасферным ціску высокая шчыльнасць малекул газу выклікае імгненныя і выпадковыя сутыкненні, рассейваючы матэрыял пакрыцця. Ва ўмовах высокага вакууму (звычайна ад 10⁻⁴ да 10⁻⁶ мбар) сярэдняя даўжыня свабоднага прабегу выпарваных атамаў або малекул рэзка павялічваецца да некалькіх метраў, што дазваляе ім перамяшчацца непасрэдна ад крыніцы да падкладкі. Гэта дазваляе дакладна кантраляваць таўшчыню, аднастайнасць і склад плёнкі.
Акрамя таго, асяроддзе высокага вакууму прадухіляе акісленне і забруджванне. Большасць металаў (напрыклад, алюміній, хром) і злучэнняў вельмі рэакцыйныя пры тэмпературах выпарэння. Амаль поўнае выключэнне рэакцыйных газаў, такіх як кісларод і вадзяная пара, гарантуе, што матэрыялы адкладаюцца ў чыстым металічным стане, што мае вырашальнае значэнне для дасягнення пэўных аптычных, электрычных або механічных уласцівасцей у канчатковым пакрыцці. Гэта асяроддзе таксама забяспечвае атамна чыстую паверхню падкладкі шляхам дэсорбцыі забруджванняў, што неабходна для трывалай адгезіі плёнкі.
Вакуумная помпавая сістэма выступае ў якасці экалагічнага інжынера. Яна павінна хутка ўсталёўваць неабходны базавы ціск, дынамічна падтрымліваць стабільнасць, выдаляючы газы з матэрыялаў і прыстасаванняў, і апрацоўваць пабочныя прадукты ў рэактыўных працэсах. Гэтая стабільнасць з'яўляецца ключом да стабільнай якасці вытворчасці ад партыі да партыі.
Крытычная патрэба ў фільтрацыі ўзнікае з-за абароны гэтай дакладнай сістэмы. Сам працэс нанясення пакрыцця можа генераваць дробныя часціцы, разбрызганыя кроплі або кандэнсуемыя пары. Без належнайуваходны фільтр, гэтыя забруджвальнікі могуць быць уцягнуты назад у вакуумны помпа. Гэта прыводзіць да павелічэння зносу ротараў і лапатак, забруджвання алею помпы (у сістэмах з масляным ушчыльненнем) і паступовага зніжэння хуткасці адпампоўкі і канчатковага вакууму. У канчатковым выніку гэта пагаршае стабільнасць працэсу, скарачае тэрмін службы помпы і павялічвае выдаткі на тэхнічнае абслугоўванне. Такім чынам, усталёўка адпаведных фільтраў, такіх як фільтры часціц, малекулярныя пасткі або халодныя пасткі, з'яўляецца неабавязковай, а жыццёва важнай інвестыцыяй для абароны вакуумнага помпы, забеспячэння стабільнай якасці пакрыцця і падтрымання бесперабойнай працы вытворчасці.
У цэлым, вакуумныя помпы дазваляюць наносіць пакрыццё выпарэннем, забяспечваючы чыстае, незабруджанае і кантраляванае асяроддзе для транспарціроўкі матэрыялу і ўтварэння плёнкі. Спалучэнне гэтай магчымасці з надзейнай стратэгіяй фільтрацыі мае важнае значэнне для дасягнення надзейнай, высокапрадукцыйнай і эканамічнай вытворчасці тонкіх плёнак.
Час публікацыі: 25 снежня 2025 г.
