Какво е вакуумно покритие?
Вакуумното покритие е усъвършенствана технология, която отлага функционални тънки филми върху повърхността на субстратите чрез физични или химични методи във вакуумна среда. Основната ѝ стойност се състои във висока чистота, висока прецизност и опазване на околната среда и се използва широко в оптиката, електрониката, инструментите, новата енергетика и други области.
Необходимо ли е системата за вакуумно покритие да бъде оборудвана с входни филтри?
Първо, нека разберем кои са често срещаните замърсители при вакуумното покритие. Например, частици, прах, маслени пари, водни пари и др. Тези замърсители, влизащи в камерата за покритие, ще доведат до намаляване на скоростта на отлагане, неравномерно нанасяне на филмовия слой и дори ще повредят оборудването.
Ситуация, при която вакуумното покритие изисква входни филтри
- По време на процеса на нанасяне на покритието, целевият материал разпръсква частици.
- Изискването за чистота на филмовия слой е високо, особено в областта на оптиката и полупроводниците.
- Има корозивни газове (лесно се получават при реактивно разпрашване). В този случай филтърът се монтира главно за защита на вакуумната помпа.
Ситуацията, при която вакуумното покритие не изисква входни филтри
- Много доставчици на услуги за вакуумно покритие използват напълно безмаслена система за висок вакуум (като молекулярна помпа + йонна помпа) и работната среда е чиста. Следователно, няма нужда от входни филтри или дори изходни филтри.
- Съществува и друга ситуация, при която не са необходими входни филтри, т.е. изискването за чистота на филмовия слой не е високо, например при някои декоративни покрития.
Други за маслената дифузионна помпа
- Ако се използва маслена помпа или маслена дифузионна помпа,изпускателен филтъртрябва да бъде инсталиран.
- Полимерният филтърен елемент не е устойчив на висока температура на дифузионната помпа
- При използване на маслена дифузионна помпа, маслото от помпата може да се връща обратно и да замърси камерата за покритие. Следователно, за да се предотврати инцидент, е необходим студен уловител или маслен преграден филтър.
В заключение, дали е необходима вакуумна система за покритиевходни филтризависи от изискванията на процеса, дизайна на системата и риска от замърсяване.
Време на публикуване: 19 април 2025 г.
