Chì ghjè u rivestimentu à vuoto?
U rivestimentu à u vacuum hè una tecnulugia avanzata chì deposita film sottili funziunali nantu à a superficia di i sustrati per mezu di metudi fisichi o chimichi in un ambiente à u vacuum. U so valore fundamentale stà in alta purezza, alta precisione è prutezzione ambientale, è hè largamente utilizatu in ottica, elettronica, strumenti, nuove energie è altri campi.
U sistema di rivestimentu à vuoto hà bisognu di esse dotatu di filtri d'entrata?
Prima di tuttu, ampareremu ciò chì sò i contaminanti cumuni in u rivestimentu à vuoto. Per esempiu, particelle, polvere, vapore d'oliu, vapore acqueo, ecc. Quessi contaminanti chì entranu in a camera di rivestimentu faranu diminuisce a velocità di deposizione, rende u stratu di film irregulare è ancu dannà l'attrezzatura.
A situazione induve u rivestimentu à vuoto richiede filtri d'entrata
- Durante u prucessu di rivestimentu, u materiale di destinazione spruzza particelle.
- L'esigenza di purezza di u stratu di film hè alta, in particulare in i campi di l'ottica è di i semiconduttori.
- Ci sò gasi currusivi (facilmente prudutti in sputtering reattivu). In questu casu, u filtru hè stallatu principalmente per prutege a pompa à vuoto.
A situazione induve u rivestimentu à vuoto ùn richiede micca filtri d'entrata
- Parechji fornitori di servizii di rivestimentu à vuoto utilizanu un sistema di altu vuoto cumpletamente senza oliu (cum'è pompa moleculare + pompa ionica), è l'ambiente di travagliu hè pulitu. Dunque, ùn ci hè bisognu di filtri d'entrata, o ancu di filtri di scaricu.
- Ci hè un'altra situazione induve i filtri d'entrata ùn sò micca richiesti, vale à dì, l'esigenza di purezza di u stratu di film ùn hè micca alta, cum'è per qualchì rivestimentu decorativu.
Altri nantu à a pompa di diffusione d'oliu
- Sè si usa una pompa d'oliu o una pompa di diffusione d'oliu,filtru di scaricudeve esse installatu.
- L'elementu filtrante in polimeru ùn hè micca resistente à l'alta temperatura di a pompa di diffusione
- Quandu si usa una pompa di diffusione d'oliu, l'oliu di a pompa pò rifluisce è contaminà a camera di rivestimentu. Dunque, ci vole una trappula di fretu o un deflettore d'oliu per impedisce l'accidentu.
In cunclusione, se u sistema di rivestimentu à vuoto hà bisognufiltri d'entratadipende da i requisiti di u prucessu, da a cuncepzione di u sistema è da u risicu di contaminazione.
Data di publicazione: 19 d'aprile di u 2025
