Yng nghyd-destun soffistigedig dyddodiad ffilm denau, mae anweddiad trawst electron (e-beam) yn sefyll allan am ei allu i greu haenau trwchus o burdeb uchel. Cwestiwn sylfaenol ynghylch y dechnoleg hon yw a oes angen pwmp gwactod arni. Yr ateb yw 'ydw' diamwys. Nid dim ond ategolyn yw system gwactod perfformiad uchel ond rhagofyniad llwyr er mwyn i'r broses weithredu'n effeithiol ac yn effeithlon.
Mae craidd anweddiad trawst-e yn cynnwys canolbwyntio trawst electron egni uchel ar ddeunydd ffynhonnell (fel aur, ocsid silicon, neu alwminiwm) sydd wedi'i gynnwys mewn crwsibl wedi'i oeri â dŵr. Mae'r gwresogi lleol dwys yn achosi i'r deunydd doddi ac anweddu. Yna mae'r atomau anweddedig hyn yn teithio mewn llwybr llinell olwg ac yn cyddwyso ar swbstrad, gan ffurfio ffilm denau. Mae'r dilyniant cyfan hwn yn dibynnu'n feirniadol ar amgylchedd gwactod uchel, fel arfer o fewn yr ystod o 10⁻³ Pa i 10⁻⁶ Pa.
Mae angen gwactod mor eithafol yn driphlyg. Yn gyntaf, mae'n sicrhau taith ddirwystr y trawst electron. Ym mhresenoldeb gormod o foleciwlau nwy, byddai'r electronau'n gwasgaru ac yn gwrthdaro, gan golli eu hegni a methu â chyflenwi gwres crynodedig i'r targed. Byddai'r trawst yn dadffocysu, gan wneud y broses yn aneffeithiol.
Yn ail, ac yn bwysicaf oll, mae'r amgylchedd gwactod yn gwarantu purdeb ac ansawdd y ffilm a adneuwyd. Hebddo, byddai nwyon gweddilliol fel ocsigen ac anwedd dŵr yn halogi'r haen mewn dwy ffordd ddinistriol: byddent yn adweithio'n gemegol â'r deunydd anweddedig i ffurfio ocsidau diangen, a byddent yn cael eu hymgorffori yn y ffilm sy'n tyfu fel amhureddau. Mae hyn yn arwain at ffilm sy'n fandyllog, yn llai gludiog, ac sydd â phriodweddau mecanyddol ac optegol israddol. Mae'r gwactod uchel yn creu llwybr glân, "balistig" ar gyfer yr atomau anweddedig, gan ganiatáu iddynt gyddwyso i mewn i haen drwchus, unffurf, ac uniondeb uchel.
Yn olaf, mae'r gwactod yn amddiffyn ffilament y gwn electron. Mae'r catod thermionig sy'n allyrru electronau yn gweithredu ar dymheredd uchel iawn a byddai'n ocsideiddio ac yn llosgi allan bron yn syth pe bai'n agored i aer.
Felly, mae system bwmpio soffistigedig—sy'n cyfuno pympiau garw a phympiau gwactod uchel fel pympiau turbomoleciwlaidd neu bympiau trylediad—yn anhepgor. I gloi, nid yw'r pwmp gwactod yn galluogi anweddiad trawst electron yn unig; mae'n ei ddiffinio, gan ffurfio bond anorchfygol sy'n hanfodol ar gyfer cynhyrchu'r haenau perfformiad uchel y mae diwydiannau'n eu galw o led-ddargludyddion i opteg. Dylai fod hefydhidlwyri amddiffyn pympiau gwactod, os nad oes,cysylltwch â ni.
Amser postio: Tach-12-2025
