Hvad er vakuumbelægning?
Vakuumbelægning er en avanceret teknologi, der aflejrer funktionelle tyndfilm på overfladen af substrater gennem fysiske eller kemiske metoder i et vakuummiljø. Dens kerneværdi ligger i høj renhed, høj præcision og miljøbeskyttelse, og den anvendes i vid udstrækning inden for optik, elektronik, værktøj, ny energi og andre områder.
Skal vakuumbelægningssystemet være udstyret med indløbsfiltre?
Lad os først lære, hvilke almindelige forurenende stoffer der er i vakuumbelægning. For eksempel partikler, støv, oliedamp, vanddamp osv. Disse forurenende stoffer, der trænger ind i belægningskammeret, vil forårsage et fald i aflejringshastigheden, et ujævnt filmlag og endda beskadige udstyret.
Situationen hvor vakuumbelægning kræver indløbsfiltre
- Under belægningsprocessen sprøjter målmaterialet partikler.
- Renhedskravet til filmlaget er højt, især inden for optik og halvledere.
- Der er korrosive gasser (som let dannes ved reaktiv sputtering). I dette tilfælde er filteret primært installeret for at beskytte vakuumpumpen.
Situationen hvor vakuumbelægning ikke kræver indløbsfiltre
- Mange leverandører af vakuumbelægningstjenester bruger et fuldstændig oliefrit højvakuumsystem (som molekylærpumpe + ionpumpe), og arbejdsmiljøet er rent. Derfor er der ikke behov for indløbsfiltre eller udstødningsfiltre.
- Der er en anden situation, hvor indløbsfiltre ikke er påkrævet, dvs. renhedskravet til filmlaget ikke er højt, f.eks. for visse dekorative belægninger.
Andre om oliediffusionspumpe
- Hvis der anvendes en oliepumpe eller oliediffusionspumpe,udstødningsfilterskal installeres.
- Polymerfilterelementet er ikke modstandsdygtigt over for diffusionspumpens høje temperatur
- Når man bruger en oliediffusionspumpe, kan pumpeolien strømme tilbage og forurene belægningskammeret. Derfor er det nødvendigt med en kuldefælde eller olieafskærmning for at forhindre ulykken.
Afslutningsvis, om vakuumbelægningssystemet har brug forindløbsfiltreafhænger af proceskrav, systemdesign og kontamineringsrisiko.
Opslagstidspunkt: 19. april 2025
