Was ist Vakuumbeschichtung?
Vakuumbeschichtung ist eine fortschrittliche Technologie, bei der funktionale Dünnschichten durch physikalische oder chemische Verfahren in einer Vakuumumgebung auf der Oberfläche von Substraten abgeschieden werden. Ihr Kernwert liegt in hoher Reinheit, hoher Präzision und Umweltschutz. Sie wird häufig in der Optik, Elektronik, Werkzeugindustrie, neuen Energien und anderen Bereichen eingesetzt.
Muss die Vakuumbeschichtungsanlage mit Einlassfiltern ausgestattet werden?
Lassen Sie uns zunächst die häufigsten Schadstoffe bei der Vakuumbeschichtung betrachten. Beispielsweise Partikel, Staub, Öldampf, Wasserdampf usw. Diese Schadstoffe, die in die Beschichtungskammer gelangen, führen zu einer verringerten Abscheidungsrate, einer ungleichmäßigen Filmschicht und können sogar die Anlage beschädigen.
Die Situation, in der Vakuumbeschichtung Einlassfilter erfordert
- Während des Beschichtungsprozesses spritzen Partikel aus dem Zielmaterial.
- Insbesondere im Bereich der Optik und Halbleiter sind die Anforderungen an die Reinheit der Filmschicht hoch.
- Es entstehen korrosive Gase (die beim reaktiven Sputtern leicht entstehen). In diesem Fall dient der Filter hauptsächlich dem Schutz der Vakuumpumpe.
Die Situation, in der Vakuumbeschichtung keine Einlassfilter benötigt
- Viele Vakuumbeschichtungsdienstleister verwenden ein vollständig ölfreies Hochvakuumsystem (z. B. Molekularpumpe + Ionenpumpe) und die Arbeitsumgebung ist sauber. Daher sind weder Einlass- noch Auslassfilter erforderlich.
- Es gibt noch eine weitere Situation, in der Einlassfilter nicht erforderlich sind, d. h., die Reinheitsanforderungen an die Filmschicht sind nicht hoch, beispielsweise bei einigen dekorativen Beschichtungen.
Andere über Öldiffusionspumpe
- Bei Verwendung einer Ölpumpe oder ÖldiffusionspumpeAbluftfiltermuss installiert sein.
- Das Polymerfilterelement ist nicht beständig gegen die hohen Temperaturen der Diffusionspumpe
- Bei Verwendung einer Öldiffusionspumpe kann das Pumpenöl zurückfließen und die Beschichtungskammer verunreinigen. Daher ist eine Kühlfalle oder ein Ölleitblech erforderlich, um dies zu verhindern.
Abschließend, ob das Vakuumbeschichtungssystem benötigtEinlassfilterhängt von den Prozessanforderungen, dem Systemdesign und dem Kontaminationsrisiko ab.
Veröffentlichungszeit: 19. April 2025
