Kio estas Vakua Tegaĵo?
Vakua tegaĵo estas altnivela teknologio, kiu deponas funkciajn maldikajn filmojn sur la surfacon de substratoj per fizikaj aŭ kemiaj metodoj en vakua medio. Ĝia kerna valoro kuŝas en alta pureco, alta precizeco kaj mediprotektado, kaj estas vaste uzata en optiko, elektroniko, iloj, nova energio kaj aliaj kampoj.
Ĉu la vakua tegaĵsistemo devas esti ekipita per eniraj filtriloj?
Unue, ni lernu, kiaj estas la komunaj poluaĵoj en vakua tegaĵo. Ekzemple, partikloj, polvo, olea vaporo, akva vaporo, ktp. Ĉi tiuj poluaĵoj enirantaj la tegaĵan ĉambron kaŭzos malpliiĝon de la depona rapideco, malebeniĝon de la filmtavolo, kaj eĉ difektos la ekipaĵon.
La situacio kie vakua tegaĵo postulas enirfiltrilojn
- Dum la tega procezo, la cela materialo ŝprucigas partiklojn.
- La purecpostulo de la filmtavolo estas alta, precipe en la kampoj de optiko kaj semikonduktaĵoj.
- Ekzistas korodaj gasoj (facile produkteblaj dum reaktiva ŝprucado). En ĉi tiu kazo, la filtrilo estas instalita ĉefe por protekti la vakuopumpilon.
La situacio kie vakua tegaĵo ne postulas enirfiltrilojn
- Multaj provizantoj de vakuaj tegaj servoj uzas tute senolean altan vakuan sistemon (kiel molekula pumpilo + jonpumpilo), kaj la labormedio estas pura. Tial ne necesas eniraj filtriloj, aŭ eĉ eliraj filtriloj.
- Ekzistas alia situacio kie eniraj filtriloj ne estas necesaj, tio estas, la pureca postulo de la filmtavolo ne estas alta, kiel ekzemple por iu dekoracia tegaĵo.
Aliaj pri oleo-difuza pumpilo
- Se oni uzas olepumpilon aŭ olepumpilon,ellasa filtrilodevas esti instalita.
- Polimera filtra elemento ne rezistas al alta temperaturo de difuza pumpilo
- Kiam oni uzas olean difuzan pumpilon, la pumpiloleo povas reflui kaj malpurigi la tegaĵan ĉambron. Tial necesas malvarma kaptilo aŭ olea deflektoro por eviti la akcidenton.
Konklude, ĉu la vakua tegaĵa sistemo bezonaseniraj filtrilojdependas de la postuloj de la procezo, la dezajno de la sistemo kaj la risko de poluado.
Afiŝtempo: 19-a de aprilo 2025
