¿Qué es el recubrimiento al vacío?
El recubrimiento al vacío es una tecnología avanzada que deposita películas delgadas funcionales sobre la superficie de sustratos mediante métodos físicos o químicos en un entorno de vacío. Su valor fundamental reside en su alta pureza, precisión y protección ambiental, y se utiliza ampliamente en óptica, electrónica, herramientas, nuevas energías y otros campos.
¿El sistema de recubrimiento al vacío necesita estar equipado con filtros de entrada?
En primer lugar, veamos cuáles son los contaminantes comunes en el recubrimiento al vacío. Por ejemplo, partículas, polvo, vapor de aceite, vapor de agua, etc. Estos contaminantes, al entrar en la cámara de recubrimiento, provocan una disminución de la velocidad de deposición, una capa de película irregular e incluso daños en el equipo.
La situación en la que el recubrimiento al vacío requiere filtros de entrada
- Durante el proceso de recubrimiento, el material objetivo salpica partículas.
- El requisito de pureza de la capa de película es alto, especialmente en los campos de la óptica y los semiconductores.
- Existen gases corrosivos (fácilmente producidos durante la pulverización catódica reactiva). En este caso, el filtro se instala principalmente para proteger la bomba de vacío.
La situación en la que el recubrimiento al vacío no requiere filtros de entrada
- Muchos proveedores de servicios de recubrimiento al vacío utilizan un sistema de alto vacío completamente libre de aceite (como una bomba molecular y una bomba de iones), y el entorno de trabajo es limpio. Por lo tanto, no se necesitan filtros de entrada ni de escape.
- Existe otra situación en la que no se requieren filtros de entrada, es decir, el requisito de pureza de la capa de película no es alto, como en el caso de algunos revestimientos decorativos.
Otros sobre la bomba de difusión de aceite
- Si se utiliza una bomba de aceite o una bomba de difusión de aceite,filtro de escapeDebe estar instalado.
- El elemento filtrante de polímero no es resistente a las altas temperaturas de la bomba de difusión.
- Al utilizar una bomba de difusión de aceite, el aceite de la bomba puede refluir y contaminar la cámara de recubrimiento. Por lo tanto, se requiere una trampa de frío o un deflector de aceite para evitar accidentes.
En conclusión, si el sistema de recubrimiento al vacío es necesariofiltros de entradaDepende de los requisitos del proceso, el diseño del sistema y el riesgo de contaminación.
Hora de publicación: 19 de abril de 2025
