Zer da hutsean estaltzea?
Hutsean estaldura teknologia aurreratu bat da, substratuen gainazalean metodo fisiko edo kimikoen bidez geruza mehe funtzionalak jartzen dituena hutsean dagoen ingurune batean. Bere balio nagusia purutasun handian, zehaztasun handian eta ingurumenaren babesean datza, eta oso erabilia da optikan, elektronikan, tresnetan, energia berrietan eta beste arlo batzuetan.
Hutsean estaltzeko sistemak sarrerako iragazkiak izan behar ditu?
Lehenik eta behin, ikas dezagun zeintzuk diren hutsean dauden estalduraren kutsatzaile ohikoenak. Adibidez, partikulak, hautsa, olio-lurruna, ur-lurruna, etab. Kutsatzaile hauek estaldura-ganberan sartzean metatze-tasa gutxitzea, film-geruza irregularra izatea eta baita ekipamendua kaltetzea ere eragingo dute.
Hutsean estaldurak sarrerako iragazkiak behar dituen egoera
- Estaldura-prozesuan zehar, helburuko materialak partikulak zipriztintzen ditu.
- Film geruzaren purutasun-eskakizuna handia da, batez ere optika eta erdieroaleen arloetan.
- Gas korrosiboak daude (erraz sortzen dira sputtering erreaktiboetan). Kasu honetan, iragazkia batez ere huts-ponpa babesteko instalatzen da.
Hutsean estaldurak sarrerako iragazkiak behar ez dituen egoera
- Hutsean estaltzeko zerbitzu hornitzaile askok guztiz oliorik gabeko huts handiko sistema bat erabiltzen dute (molekula-ponpa + ioi-ponpa bezala), eta lan-ingurunea garbia da. Beraz, ez dago sarrera-iragazkirik edo ihes-iragazkirik behar.
- Badago beste egoera bat non sarrera-iragazkiak ez diren beharrezkoak, hau da, film-geruzaren purutasun-eskakizuna ez den altua, hala nola estaldura apaingarri batzuen kasuan.
Beste batzuk olio-difusio ponpari buruz
- Olio-ponpa edo olio-difusio-ponpa bat erabiltzen bada,ihes-iragazkiainstalatu behar da.
- Polimerozko iragazki-elementua ez da difusio-ponparen tenperatura altuarekiko erresistentea
- Olio-difusio ponpa bat erabiltzean, ponpa-olioa atzera isuri eta estaldura-ganbera kutsa dezake. Beraz, istripua saihesteko, hotz-tranpa edo olio-deflektore bat behar da.
Ondorioz, hutsean estaltzeko sistemak behar duen ala ezsarrerako iragazkiakprozesuaren eskakizunen, sistemaren diseinuaren eta kutsadura-arriskuaren araberakoa da.
Argitaratze data: 2025eko apirilaren 19a
