Mikä on tyhjiöpinnoitus?
Tyhjiöpinnoitus on edistynyt tekniikka, jossa fysikaalisilla tai kemiallisilla menetelmillä alustojen pinnalle kerrostetaan toiminnallisia ohutkalvoja tyhjiöympäristössä. Sen ydinarvot ovat korkea puhtaus, korkea tarkkuus ja ympäristönsuojelu, ja sitä käytetään laajalti optiikassa, elektroniikassa, työkaluissa, uuden energian alalla ja muilla aloilla.
Pitääkö tyhjiöpinnoitusjärjestelmässä olla tuloilmasuodattimet?
Ensinnäkin, selvitetään yleisimmät tyhjiöpinnoituksessa esiintyvät epäpuhtaudet. Esimerkiksi hiukkaset, pöly, öljyhöyry, vesihöyry jne. Nämä pinnoituskammioon pääsevät epäpuhtaudet hidastavat pinnoitusnopeutta, tekevät kalvosta epätasaisen ja jopa vahingoittavat laitteita.
Tilanne, jossa tyhjiöpinnoitus vaatii tulosuodattimia
- Pinnoitusprosessin aikana kohdemateriaali roiskuu hiukkasia.
- Kalvokerroksen puhtausvaatimus on korkea, erityisesti optiikan ja puolijohteiden aloilla.
- On olemassa syövyttäviä kaasuja (joita syntyy helposti reaktiivisessa sputteroinnissa). Tässä tapauksessa suodatin asennetaan pääasiassa suojaamaan tyhjiöpumppua.
Tilanne, jossa tyhjiöpinnoitus ei vaadi tulosuodattimia
- Monet tyhjiöpinnoituspalvelujen tarjoajat käyttävät täysin öljytöntä korkeatyhjiöjärjestelmää (kuten molekyylipumppu + ionipumppu), ja työympäristö on puhdas. Siksi ei ole tarvetta tuloilmasuodattimille tai edes poistoilmasuodattimille.
- On myös toinen tilanne, jossa tuloilmasuodattimia ei tarvita, eli kalvokerroksen puhtausvaatimus ei ole korkea, kuten esimerkiksi joidenkin koristepinnoitteiden kohdalla.
Muita öljydiffuusiopumpusta
- Jos käytetään öljypumppua tai öljydiffuusiopumppua,pakokaasusuodatinon asennettava.
- Polymeerisuodatinelementti ei kestä diffuusiopumpun korkeita lämpötiloja
- Öljydiffuusiopumppua käytettäessä pumpun öljy voi virrata takaisin ja saastuttaa pinnoituskammion. Siksi onnettomuuden estämiseksi tarvitaan kylmäloukku tai öljynohjain.
Yhteenvetona voidaan todeta, tarvitseeko tyhjiöpinnoitusjärjestelmäätulosuodattimetriippuu prosessivaatimuksista, järjestelmän suunnittelusta ja kontaminaatioriskistä.
Julkaisuaika: 19. huhtikuuta 2025
