પાતળા-ફિલ્મ ડિપોઝિશનની અત્યાધુનિક દુનિયામાં, ઇલેક્ટ્રોન બીમ (ઈ-બીમ) બાષ્પીભવન ઉચ્ચ-શુદ્ધતા, ગાઢ આવરણ બનાવવાની તેની ક્ષમતા માટે અલગ પડે છે. આ ટેકનોલોજીની આસપાસનો એક મૂળભૂત પ્રશ્ન એ છે કે શું તેને વેક્યુમ પંપની જરૂર છે. જવાબ સ્પષ્ટપણે હા છે. ઉચ્ચ-પ્રદર્શન વેક્યુમ સિસ્ટમ ફક્ત એક સહાયક નથી પરંતુ પ્રક્રિયાને અસરકારક અને કાર્યક્ષમ રીતે કાર્ય કરવા માટે એક સંપૂર્ણ પૂર્વશરત છે.
ઈ-બીમ બાષ્પીભવનના મુખ્ય ભાગમાં વોટર-કૂલ્ડ ક્રુસિબલમાં રહેલા સ્ત્રોત સામગ્રી (જેમ કે સોનું, સિલિકોન ઓક્સાઇડ અથવા એલ્યુમિનિયમ) પર ઉચ્ચ-ઊર્જા ઇલેક્ટ્રોન બીમ કેન્દ્રિત કરવાનો સમાવેશ થાય છે. તીવ્ર સ્થાનિક ગરમીને કારણે સામગ્રી ઓગળે છે અને બાષ્પીભવન થાય છે. આ બાષ્પીભવન પામેલા અણુઓ પછી દૃષ્ટિ રેખામાં મુસાફરી કરે છે અને સબસ્ટ્રેટ પર ઘટ્ટ થાય છે, જે પાતળી ફિલ્મ બનાવે છે. આ સમગ્ર ક્રમ ઉચ્ચ-શૂન્યાવકાશ વાતાવરણ પર ગંભીર રીતે આધાર રાખે છે, સામાન્ય રીતે 10⁻³ Pa થી 10⁻⁶ Pa ની રેન્જમાં.
આવા આત્યંતિક શૂન્યાવકાશની આવશ્યકતા ત્રણ ગણી છે. પ્રથમ, તે ઇલેક્ટ્રોન બીમની અવરોધ વિનાની મુસાફરીને સુનિશ્ચિત કરે છે. ઘણા બધા ગેસ પરમાણુઓની હાજરીમાં, ઇલેક્ટ્રોન વિખેરાઈ જશે અને અથડાઈ જશે, તેમની ઊર્જા ગુમાવશે અને લક્ષ્ય સુધી કેન્દ્રિત ગરમી પહોંચાડવામાં નિષ્ફળ જશે. બીમ ડિફોકસ થઈ જશે, જેનાથી પ્રક્રિયા બિનઅસરકારક બનશે.
બીજું, અને સૌથી મહત્વપૂર્ણ, શૂન્યાવકાશ વાતાવરણ જમા થયેલી ફિલ્મની શુદ્ધતા અને ગુણવત્તાની ખાતરી આપે છે. તેના વિના, ઓક્સિજન અને પાણીની વરાળ જેવા અવશેષ વાયુઓ બે વિનાશક રીતે કોટિંગને દૂષિત કરશે: તેઓ બાષ્પીભવન કરાયેલ સામગ્રી સાથે રાસાયણિક રીતે પ્રતિક્રિયા કરીને અનિચ્છનીય ઓક્સાઇડ બનાવશે, અને તેઓ અશુદ્ધિઓ તરીકે વધતી ફિલ્મમાં સમાવિષ્ટ થશે. આના પરિણામે એક ફિલ્મ છિદ્રાળુ, ઓછી એડહેસિવ અને હલકી ગુણવત્તાવાળા યાંત્રિક અને ઓપ્ટિકલ ગુણધર્મો ધરાવે છે. ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશ બાષ્પીભવન કરાયેલ અણુઓ માટે સ્વચ્છ, "બેલિસ્ટિક" માર્ગ બનાવે છે, જે તેમને ગાઢ, સમાન અને ઉચ્ચ-અખંડિતતા સ્તરમાં ઘટ્ટ થવા દે છે.
છેલ્લે, વેક્યુમ ઇલેક્ટ્રોન ગનના ફિલામેન્ટનું રક્ષણ કરે છે. થર્મિઓનિક કેથોડ જે ઇલેક્ટ્રોન ઉત્સર્જિત કરે છે તે અત્યંત ઊંચા તાપમાને કાર્ય કરે છે અને હવાના સંપર્કમાં આવે તો લગભગ તરત જ ઓક્સિડાઇઝ થઈ જાય છે અને બળી જાય છે.
તેથી, એક અત્યાધુનિક પમ્પિંગ સિસ્ટમ - રફિંગ પંપ અને ટર્બોમોલેક્યુલર અથવા ડિફ્યુઝન પંપ જેવા ઉચ્ચ-વેક્યુમ પંપનું સંયોજન - અનિવાર્ય છે. નિષ્કર્ષમાં, વેક્યુમ પંપ ફક્ત ઇલેક્ટ્રોન બીમ બાષ્પીભવનને સક્ષમ કરતું નથી; તે તેને વ્યાખ્યાયિત કરે છે, એક અતૂટ બંધન બનાવે છે જે સેમિકન્ડક્ટરથી લઈને ઓપ્ટિક્સ સુધીના ઉદ્યોગો દ્વારા માંગવામાં આવતા ઉચ્ચ-પ્રદર્શન કોટિંગ્સના ઉત્પાદન માટે જરૂરી છે. ત્યાં પણ હોવું જોઈએફિલ્ટર્સજો વેક્યુમ પંપ ન હોય તો તેને સુરક્ષિત રાખવા માટે,અમારો સંપર્ક કરો.
પોસ્ટ સમય: નવેમ્બર-૧૨-૨૦૨૫
