ʻO ka uhi ʻana i ka mahu, kahi hana hoʻokaʻawale mahu kino (PVD), hilinaʻi nui ʻia i ka ʻenehana vacuum. ʻAʻole wale ka pamu vacuum he mea kōkua akā ʻo ke kihi e hiki ai ke hana holoʻokoʻa ma ka hoʻokumu ʻana a me ka mālama ʻana i kahi ʻano molekala i kāohi nui ʻia. ʻOi aku kāna hana ma mua o ka wehe ʻana i ka ea maʻalahi, e hoʻokumu ana i nā kūlana kino kikoʻī e pono ai no ka waiho ʻana i nā ʻili lahilahi hana kiʻekiʻe.
ʻO ke kumu nui no ke koi ʻana i ka vacuum kiʻekiʻe, ʻo ia ka hōʻoia ʻana i ka hele pololei ʻana o nā ʻāpana i hoʻoheheʻe ʻia. Ma ke kaomi lewa, ʻo ke kiʻekiʻe o ka nui o nā molekala kinoea ke kumu o nā kuʻi koke a me nā kuʻi hewa, e hoʻopuehu ana i ka mea uhi. Ma lalo o ka vacuum kiʻekiʻe (maʻamau 10⁻⁴ a 10⁻⁶ mbar), piʻi nui ke ala manuahi o nā ʻātoma a i ʻole nā molekala i hoʻoheheʻe ʻia i kekahi mau mika, e ʻae ana iā lākou e hele pololei mai ke kumu a i ka substrate. Hiki i kēia ke hoʻomalu pololei i ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni, ke kūlike, a me ka haku mele ʻana.
Eia kekahi, pale kahi ʻano hakahaka kiʻekiʻe i ka oxidation a me ka haumia. ʻO ka hapa nui o nā metala (e laʻa, alumini, chromium) a me nā hui he pane wikiwiki i nā mahana evaporation. ʻO ka hoʻopau kokoke ʻana i nā kinoea pane e like me ka oxygen a me ka mahu wai e hōʻoia i ka waiho ʻana o nā mea i ko lākou kūlana maʻemaʻe, metala, he mea koʻikoʻi ia no ka hoʻokō ʻana i nā waiwai optical, uila, a mechanical paha i ka uhi hope loa. Hāʻawi pū kēia ʻano i kahi ʻili substrate maʻemaʻe atomically ma o ka desorbing contaminants, he mea nui ia no ka hoʻopili ʻana o ka kiʻiʻoniʻoni ikaika.
Hana ka ʻōnaehana pamu hakahaka ma ke ʻano he ʻenekinia kaiapuni. Pono ia e hoʻokumu koke i ke kaomi kumu e pono ai, mālama i ke kūpaʻa ma ka wehe ʻana i ke kinoea mai nā mea hana a me nā mea paʻa, a lawelawe i nā huahana ʻaoʻao i nā kaʻina hana reactive. ʻO kēia kūpaʻa ke kī no ka maikaʻi o ka hana ʻana o ka batch-to-batch.
ʻO ka pono koʻikoʻi no ka kānana ʻana e kū mai ana mai ka pale ʻana i kēia ʻōnaehana kikoʻī. Hiki i ke kaʻina hana uhi ponoʻī ke hoʻopuka i nā mea liʻiliʻi, nā kulu i pīpī ʻia, a i ʻole nā mahu condensable. Me ka ʻole o ka pono kūponokānana komo, hiki ke huki hou ʻia kēia mau mea haumia i loko o ka pamu vacuum. Ke alakaʻi nei kēia i ka hoʻonui ʻia o ke komo ʻana ma nā rotors a me nā pahi, ka haumia o ka ʻaila pamu (i loko o nā ʻōnaehana i hoʻopaʻa ʻia i ka ʻaila), a me ka hōʻemi mālie ʻana o ka wikiwiki o ka pamu a me ka vacuum hope loa. I ka hopena, hoʻopilikia kēia i ke kūpaʻa o ke kaʻina hana, hoʻopōkole i ke ola lawelawe pamu, a hoʻonui i nā kumukūʻai mālama. No laila, ʻo ka hoʻokomo ʻana i nā kānana kūpono—e like me nā kānana particulate, nā pahele molekala, a i ʻole nā pahele anu—ʻaʻole ia he koho akā he hoʻopukapuka koʻikoʻi no ka pale ʻana i ka pamu vacuum, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka maikaʻi o ka uhi ʻana, a me ka mālama ʻana i ka manawa hana.
Ma keʻano holoʻokoʻa, hiki i nā pamu vacuum ke hoʻohana i ka uhi ʻana i ka mahu ma o ka hāʻawi ʻana i kahi ʻano maʻemaʻe, haumia ʻole, a kāohi ʻia no ka lawe ʻana i nā mea a me ka hoʻokumu ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni. ʻO ka hoʻohui ʻana i kēia hiki me kahi hoʻolālā kānana ikaika he mea nui ia no ka hoʻokō ʻana i ka hana ʻili lahilahi hilinaʻi, hana kiʻekiʻe, a me ka hoʻokele waiwai.
Ka manawa hoʻouna: Dec-25-2025
