Ib lo lus nug feem ntau hauv kev tsim khoom yog: Puas yog Electron Beam Vuam (EBW) xav tau lub tshuab nqus tsev? Cov lus teb luv luv yog qhov rov hais dua yog, hauv feem ntau ntawm cov xwm txheej. Lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis tsis yog ib qho khoom siv xwb tab sis lub plawv ntawm EBW cov kab ke ua ke, ua kom nws lub peev xwm tshwj xeeb.
Lub hauv paus ntawm EBW suav nrog kev tsim cov kwj ntawm cov hluav taws xob siab ceev kom yaj thiab fuse cov ntaub ntawv. Cov txheej txheem no tshwj xeeb tshaj yog rau cov roj molecules. Nyob rau hauv ib puag ncig uas tsis yog lub tshuab nqus tsev, cov molecules yuav sib tsoo nrog cov electrons, ua rau lub teeb tawg, poob zog, thiab defocus. Qhov tshwm sim yuav yog qhov dav, tsis muaj tseeb, thiab tsis muaj txiaj ntsig weld, rhuav tshem lub hom phiaj ntawm EBW qhov tseeb qhov tseeb thiab qhov tob tob. Tsis tas li ntawd, cov phom electron cathode, uas emits cov electrons, ua haujlwm ntawm qhov kub siab heev thiab yuav oxidize thiab hlawv tawm sai sai yog tias raug huab cua.
Yog li ntawd, High-Vacuum EBW, daim ntawv tshaj tawm, yuav tsum muaj ib qho chaw huv huv, feem ntau ntawm 10⁻² txog 10⁻⁴ Pa. Lub twj tso kua mis ntxhib ua ntej tshem tawm cov huab cua ntau, ua raws li lub tshuab nqus tsev siab, zoo li lub twj tso kua mis diffusion lossis turbomolecular twj, uas tsim cov txheej txheem pristine tsim nyog rau kev ua haujlwm zoo. Qhov no ua kom muaj kev sib kis tsis muaj kab mob, muaj kev ntseeg siab zoo, ua rau nws tseem ceeb rau kev siv aerospace, kev kho mob, thiab semiconductor.
Ib qho kev hloov pauv hu ua Medium lossis Soft-Vacuum EBW ua haujlwm ntawm qhov siab dua (ib puag ncig 1-10 Pa). Thaum nws txo cov twj tso kua mis-down lub sij hawm kom tau txais txiaj ntsig zoo, nws tseem xav tau lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis kom tswj tau qhov kev tswj hwm no, tsis tshua muaj siab ib puag ncig los tiv thaiv kev tawg ntau dhau thiab oxidation.
Qhov tshwj xeeb tshwj xeeb yog Non-Vacuum EBW, qhov twg cov vuam tau ua nyob rau hauv qhov chaw qhib. Txawm li cas los xij, qhov no yog kev dag ntxias. Thaum lub workpiece chamber raug tshem tawm, rab phom electron nws tus kheej tseem nyob hauv lub tshuab nqus tsev siab. Lub beam yog ces projected los ntawm ib tug series ntawm txawv siab apertatures rau hauv cov huab cua. Txoj kev no raug kev txom nyem los ntawm cov kab hluav taws xob tseem ceeb thiab yuav tsum muaj kev tiv thaiv X-ray, txwv nws siv rau cov ntawv thov tshwj xeeb.
Hauv kev xaus, kev sib koom ua ke ntawm cov kab hluav taws xob hluav taws xob thiab lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis yog qhov txhais tau tias lub tshuab muaj zog no. Rau kev ua tiav qhov zoo tshaj plaws thiab qhov tseeb uas EBW muaj npe nrov rau, lub tshuab nqus tsev twj tsis yog qhov kev xaiv - nws yog qhov tsim nyog.
Post lub sij hawm: Nov-10-2025
