Mi a vákuumbevonatolás?
A vákuumbevonatolás egy fejlett technológia, amely fizikai vagy kémiai módszerekkel, vákuumkörnyezetben funkcionális vékonyrétegeket visz fel az aljzatok felületére. Fő értéke a nagy tisztaság, a nagy pontosság és a környezetvédelem, és széles körben használják az optikában, az elektronikában, a szerszámokban, az új energiákban és más területeken.
A vákuumos bevonatoló rendszert bemeneti szűrőkkel kell felszerelni?
Először is, nézzük meg, melyek a vákuumos bevonatolás során előforduló leggyakoribb szennyező anyagok. Például a részecskék, a por, az olajgőz, a vízgőz stb. Ezek a bevonókamrába jutó szennyező anyagok a lerakódási sebesség csökkenését, a filmréteg egyenetlenségét, sőt a berendezés károsodását is okozhatják.
Az a helyzet, amikor vákuumbevonatoláshoz bemeneti szűrők szükségesek
- A bevonási folyamat során a célanyag részecskéket fröccsentet.
- A filmréteg tisztasági követelménye magas, különösen az optika és a félvezetők területén.
- Vannak korrozív gázok (amelyek könnyen keletkeznek reaktív porlasztás során). Ebben az esetben a szűrőt elsősorban a vákuumszivattyú védelme érdekében szerelik be.
Az a helyzet, amikor a vákuumos bevonatoláshoz nincs szükség bemeneti szűrőkre
- Sok vákuumos bevonatoló szolgáltató teljesen olajmentes nagyvákuumú rendszert (például molekuláris szivattyút + ionszivattyút) használ, így a munkakörnyezet tiszta. Ezért nincs szükség bemeneti szűrőkre, sőt, akár kipufogó szűrőkre sem.
- Van egy másik olyan helyzet is, amikor nincs szükség bemeneti szűrőkre, azaz a filmréteg tisztasági követelménye nem magas, például egyes dekoratív bevonatok esetében.
Mások az olajdiffúziós szivattyúról
- Ha olajszivattyút vagy olajdiffúziós szivattyút használnak,kipufogószűrőtelepíteni kell.
- A polimer szűrőelem nem ellenáll a diffúziós szivattyú magas hőmérsékletének
- Olajdiffúziós szivattyú használata esetén a szivattyúolaj visszafolyhat és szennyezheti a bevonókamrát. Ezért hidegcsapdára vagy olajterelőre van szükség a baleset megelőzése érdekében.
Összefoglalva, hogy szükség van-e a vákuumos bevonórendszerrebemeneti szűrőka folyamatkövetelményektől, a rendszer kialakításától és a szennyeződés kockázatától függ.
Közzététel ideje: 2025. április 19.
