Բարակ թաղանթային նստեցման բարդ աշխարհում էլեկտրոնային ճառագայթային (էլեկտրոնային ճառագայթային) գոլորշիացումը առանձնանում է բարձր մաքրության, խիտ ծածկույթներ ստեղծելու իր ունակությամբ: Այս տեխնոլոգիայի հետ կապված հիմնարար հարցն այն է, թե արդյոք այն պահանջում է վակուումային պոմպ: Պատասխանը միանշանակ այո է: Բարձր արդյունավետությամբ վակուումային համակարգը ոչ միայն լրասարք է, այլև բացարձակ նախապայման՝ գործընթացի արդյունավետ և արդյունավետ գործունեության համար:
Էլեկտրոնային ճառագայթով գոլորշիացման միջուկը ներառում է բարձր էներգիայի էլեկտրոնային ճառագայթի կենտրոնացումը ջրով սառեցվող հալոցքում պարունակվող աղբյուրի նյութի (օրինակ՝ ոսկու, սիլիցիումի օքսիդի կամ ալյումինի) վրա: Ինտենսիվ տեղային տաքացումը հանգեցնում է նյութի հալմանը և գոլորշիացմանը: Այնուհետև այս գոլորշիացած ատոմները շարժվում են տեսադաշտի գծով և խտանում են հիմքի վրա՝ ձևավորելով բարակ թաղանթ: Այս ամբողջ հաջորդականությունը կրիտիկականորեն կախված է բարձր վակուումային միջավայրից, որը սովորաբար 10⁻³ Պա-ից մինչև 10⁻⁶ Պա սահմաններում է:
Նման ծայրահեղ վակուումի անհրաժեշտությունը եռակի է։ Նախ, այն ապահովում է էլեկտրոնային փնջի անարգել շարժումը։ Չափազանց շատ գազի մոլեկուլների առկայության դեպքում էլեկտրոնները կցրվեն և կբախվեն՝ կորցնելով իրենց էներգիան և չկարողանալով կենտրոնացված ջերմություն հասցնել թիրախին։ Փնջը կկորցնի իր կենտրոնացվածությունը, ինչը գործընթացը կդարձնի անարդյունավետ։
Երկրորդ, և ամենակարևորը, վակուումային միջավայրը երաշխավորում է նստվածքային թաղանթի մաքրությունն ու որակը: Առանց դրա, մնացորդային գազերը, ինչպիսիք են թթվածինը և ջրային գոլորշին, կաղտոտեին ծածկույթը երկու կործանարար ձևով. դրանք քիմիապես կփոխազդեին գոլորշիացած նյութի հետ՝ առաջացնելով անցանկալի օքսիդներ, և կներառվեին աճող թաղանթի մեջ որպես խառնուրդներ: Սա հանգեցնում է ծակոտկեն, պակաս կպչուն և ցածրորակ մեխանիկական և օպտիկական հատկություններ ունեցող թաղանթի: Բարձր վակուումը ստեղծում է մաքուր, «բալիստիկ» ուղի գոլորշիացած ատոմների համար, թույլ տալով դրանց խտանալ խիտ, միատարր և բարձր ամբողջականության շերտի մեջ:
Վերջապես, վակուումը պաշտպանում է էլեկտրոնային թնդանոթի թելիկը: Էլեկտրոններ արձակող թերիոնային կաթոդը գործում է չափազանց բարձր ջերմաստիճաններում և գրեթե անմիջապես կօքսիդանա ու կայրվի, եթե օդի հետ շփվի:
Հետևաբար, բարդ պոմպային համակարգը՝ համատեղելով կոպիտ մշակման պոմպերը և բարձր վակուումային պոմպերը, ինչպիսիք են տուրբոմոլեկուլային կամ դիֆուզիոն պոմպերը, անփոխարինելի է: Եզրափակելով՝ վակուումային պոմպը ոչ միայն հնարավորություն է տալիս էլեկտրոնային ճառագայթով գոլորշիացման, այլև սահմանում է այն՝ ձևավորելով անխզելի կապ, որը կարևոր է կիսահաղորդիչներից մինչև օպտիկա արդյունաբերությունների կողմից պահանջվող բարձր արդյունավետության ծածկույթներ արտադրելու համար: Պետք է նաև լինիֆիլտրերվակուումային պոմպերը պաշտպանելու համար, եթե դրանք չկան,կապվեք մեզ հետ։
Հրապարակման ժամանակը. Նոյեմբերի 12-2025
