Գոլորշիացման ծածկույթը, որը ֆիզիկական գոլորշու նստեցման (PVD) հիմնական գործընթաց է, հիմնարար կերպով հիմնված է վակուումային տեխնոլոգիայի վրա: Վակուումային պոմպը ոչ միայն օժանդակ սարք է, այլև հիմնաքար, որը հնարավորություն է տալիս իրականացնել ամբողջ գործընթացը՝ ստեղծելով և պահպանելով բարձր վերահսկվող մոլեկուլային մասշտաբի միջավայր: Դրա գործառույթը տարածվում է շատ ավելի լայն տարածում ունեցող օդի պարզ հեռացումից, ստեղծելով բարձրորակ ֆունկցիոնալ բարակ թաղանթների նստեցման համար անհրաժեշտ ճշգրիտ ֆիզիկական պայմաններ:
Բարձր վակուումի պահանջի հիմնական պատճառը գոլորշիացված մասնիկների ուղիղ գծի շարժումն ապահովելն է: Մթնոլորտային ճնշման տակ գազի մոլեկուլների բարձր խտությունը առաջացնում է անհապաղ և պատահական բախումներ, ցրելով ծածկույթային նյութը: Բարձր վակուումի դեպքում (սովորաբար 10⁻⁴-ից մինչև 10⁻⁶ մբար) գոլորշիացված ատոմների կամ մոլեկուլների միջին ազատ ուղին կտրուկ աճում է մինչև մի քանի մետր, թույլ տալով դրանց ուղղակիորեն շարժվել աղբյուրից դեպի հիմք: Սա հնարավորություն է տալիս ճշգրիտ վերահսկել թաղանթի հաստությունը, միատարրությունը և կազմը:
Ավելին, բարձր վակուումային միջավայրը կանխում է օքսիդացումը և աղտոտումը: Մետաղների մեծ մասը (օրինակ՝ ալյումին, քրոմ) և միացությունները բարձր ռեակտիվ են գոլորշիացման ջերմաստիճաններում: Ռեակտիվ գազերի, ինչպիսիք են թթվածինը և ջրային գոլորշին, գրեթե վերացումը ապահովում է նյութերի նստեցումը իրենց մաքուր, մետաղական վիճակում, ինչը կարևոր է վերջնական ծածկույթում որոշակի օպտիկական, էլեկտրական կամ մեխանիկական հատկություններ ստանալու համար: Այս միջավայրը նաև ապահովում է ատոմապես մաքուր հիմքի մակերես՝ հեռացնելով աղտոտիչները, ինչը կարևոր է թաղանթի ամուր կպչունության համար:
Վակուումային պոմպային համակարգը գործում է որպես շրջակա միջավայրի ինժեներ։ Այն պետք է արագորեն հաստատի անհրաժեշտ բազային ճնշումը, դինամիկ կերպով պահպանի կայունությունը՝ նյութերից և հարմարանքներից հեռացնելով արտանետվող գազերը, և մշակի ենթամթերքները ռեակտիվ գործընթացներում։ Այս կայունությունը կարևոր է խմբաքանակից խմբաքանակ արտադրության որակի կայունության համար։
Այս ճշգրիտ համակարգը պաշտպանելուց բխում է ֆիլտրացիայի կարևորագույն անհրաժեշտությունը: Ծածկույթի գործընթացն ինքնին կարող է առաջացնել մանր մասնիկներ, ցայտող կաթիլներ կամ խտացվող գոլորշիներ: Առանց պատշաճ...մուտքի ֆիլտր, այս աղտոտիչները կարող են հետ քաշվել վակուումային պոմպի մեջ։ Սա հանգեցնում է պտտիչների և շեղբերի մաշվածության աճի, պոմպի յուղի աղտոտման (յուղով կնքված համակարգերում) և պոմպի արագության ու վերջնական վակուումի աստիճանական վատթարացման։ Վերջին հաշվով, սա վտանգում է գործընթացի կայունությունը, կրճատում պոմպի ծառայության ժամկետը և մեծացնում սպասարկման ծախսերը։ Հետևաբար, համապատասխան ֆիլտրերի տեղադրումը, ինչպիսիք են մասնիկային ֆիլտրերը, մոլեկուլային կամ սառը թակարդները, ընտրովի չէ, այլ կենսական ներդրում է վակուումային պոմպը պաշտպանելու, ծածկույթի կայուն որակը ապահովելու և արտադրության աշխատանքային ժամանակը պաշտպանելու համար։
Ամփոփելով՝ վակուումային պոմպերը հնարավորություն են տալիս գոլորշիացման ծածկույթ ստեղծել՝ ապահովելով մաքուր, չաղտոտված և վերահսկվող միջավայր նյութի տեղափոխման և թաղանթի ձևավորման համար: Այս հնարավորությունը հզոր ֆիլտրացիայի ռազմավարության հետ համատեղելը կարևոր է հուսալի, բարձր արդյունավետությամբ և տնտեսող բարակ թաղանթների արտադրության հասնելու համար:
Հրապարակման ժամանակը. Դեկտեմբերի 25-2025
