Apa itu Pelapisan Vakum?
Pelapisan vakum adalah teknologi canggih yang melapisi permukaan substrat dengan lapisan tipis fungsional melalui metode fisika atau kimia dalam lingkungan vakum. Nilai utamanya terletak pada kemurnian tinggi, presisi tinggi, dan perlindungan lingkungan, serta banyak digunakan dalam bidang optik, elektronik, peralatan, energi baru, dan bidang lainnya.
Apakah sistem pelapisan vakum perlu dilengkapi dengan filter saluran masuk?
Pertama, mari kita pelajari polutan umum apa saja yang terdapat dalam pelapisan vakum. Misalnya, partikel, debu, uap minyak, uap air, dll. Polutan yang masuk ke dalam ruang pelapisan akan menyebabkan laju deposisi menurun, lapisan film menjadi tidak rata, dan bahkan merusak peralatan.
Situasi di mana pelapisan vakum memerlukan filter saluran masuk
- Selama proses pelapisan, material target memercikkan partikel.
- Persyaratan kemurnian lapisan film tinggi, terutama di bidang optik dan semikonduktor.
- Terdapat gas korosif (yang mudah dihasilkan dalam sputtering reaktif). Dalam hal ini, filter dipasang terutama untuk melindungi pompa vakum.
Situasi di mana pelapisan vakum tidak memerlukan filter saluran masuk
- Banyak penyedia layanan pelapisan vakum menggunakan sistem vakum tinggi yang sepenuhnya bebas minyak (seperti pompa molekuler + pompa ion), dan lingkungan kerjanya bersih. Oleh karena itu, tidak diperlukan filter saluran masuk, atau bahkan filter pembuangan.
- Ada situasi lain di mana filter saluran masuk tidak diperlukan, yaitu, persyaratan kemurnian lapisan film tidak tinggi, seperti untuk beberapa lapisan dekoratif.
Lainnya tentang pompa difusi oli
- Jika pompa oli atau pompa difusi oli digunakan,saringan pembuanganharus diinstal.
- Elemen filter polimer tidak tahan terhadap suhu tinggi pompa difusi
- Saat menggunakan pompa difusi oli, oli pompa dapat mengalir balik dan mencemari ruang pelapis. Oleh karena itu, diperlukan perangkap dingin atau penyekat oli untuk mencegah kecelakaan tersebut.
Kesimpulannya, apakah sistem pelapisan vakum perlufilter saluran masuktergantung pada persyaratan proses, desain sistem dan risiko kontaminasi.
Waktu posting: 19-Apr-2025
