N'ime ụwa ọkaibe nke ntinye ihe nkiri dị mkpa, evaporation eletrọn (e-beam) pụtara maka ike ya ịmepụta ịdị ọcha dị elu, akwa mkpuchi. Ajụjụ dị mkpa gbara teknụzụ a gburugburu bụ ma ọ chọrọ mgbapụta agụụ. Azịza ya bụ ee enweghị mgbagha. Sistemụ oghere na-arụ ọrụ dị elu abụghị naanị ngwa mana ọ bụ ihe dị mkpa maka usoro ahụ iji rụọ ọrụ nke ọma na nke ọma.
Isi nke evaporation e-beam gụnyere ilekwasị anya n'ọkụ eletrọn nke nwere ike dị elu n'elu ihe eji enweta (dị ka ọla edo, silicon oxide, ma ọ bụ aluminom) nke dị n'ime ite mmiri jụrụ oyi. Igwe ọkụ na-ekpo ọkụ na mpaghara na-eme ka ihe ahụ gbazee na vaporation. Atọm ndị a vaporized wee na-aga n'ụzọ ahịrị na-ahụ ụzọ ma na-agbakọta na mkpụrụ, na-eme ihe nkiri dị mkpa. Usoro a dum na-adabere n'ụzọ siri ike na gburugburu ebe enweghị agụụ, na-adịkarị n'etiti 10⁻³ Pa ruo 10⁻ Pa.
Ihe dị mkpa maka oghere dị otú ahụ dị oke egwu bụ okpukpu atọ. Nke mbụ, ọ na-eme ka njem eletrik na-enweghị ihe mgbochi. N'ebe enwere ọtụtụ ụmụ irighiri gas, ndị electrons ga-agbasasị ma daa, na-efunahụ ike ha ma ghara ibunye okpomọkụ gbadoro anya na ebumnuche. Oghere ahụ ga-emegharị anya, na-eme ka usoro ahụ ghara ịdị irè.
Nke abụọ, na nke kachasị mkpa, ebe oghere na-ekwe nkwa ịdị ọcha na ịdị mma nke ihe nkiri a na-edobere. Na-enweghị ya, gas fọdụrụnụ dị ka ikuku oxygen na ikuku mmiri ga-emerụ mkpuchi ahụ n'ụzọ abụọ na-agbawa obi: ha ga-eji ihe ndị na-ekpo ọkụ meghachi omume na-emepụta oxides na-achọghị, ha ga-abanyekwa na fim na-eto eto dị ka adịghị ọcha. Nke a na-ebute ihe nkiri nke nwere oghere, nke na-adịchaghị nfe, ma nweekwa akụrụngwa na ngwa anya dị ala. Oghere dị elu na-emepụta ụzọ dị ọcha, "ballistic" maka atọm ndị ahụ vaporized, na-enye ha ohere ịbanye n'ime oyi akwa, uwe, na akwa akwa.
N'ikpeazụ, oghere ahụ na-echebe filament egbe eletrọn. The thermionic cathode nke na-ebunye electrons na-arụ ọrụ na oke okpomọkụ na ọ ga-abụ oxidize na ọkụ ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ozugbo ọ bụrụ ikuku.
Ya mere, usoro mgbapụta ọkaibe-ijikọta nfuli roughing na nfuli dị elu dị ka nfuli turbomolecular ma ọ bụ mgbasa ozi-bụ ihe dị mkpa. N'ikpeazụ, mgbapụta mgbapụta adịghị eme ka evaporation eletrọn pụta; ọ na-akọwa ya, na-emepụta njikọ na-enweghị ike imebi nke dị mkpa maka ịmepụta mkpuchi dị elu nke ụlọ ọrụ na-achọ site na semiconductor na optics. E kwesịkwara inwenzachaiji kpuchido nfuli agụụ, ọ bụrụ na ọ nweghị,kpọtụrụ anyị.
Oge nzipu: Nov-12-2025
