Uppgufunarhúðun, kjarninn í eðlisfræðilegri gufuútfellingu (PVD), byggir í grundvallaratriðum á lofttæmistækni. Lofttæmisdælan er ekki bara hjálpartæki heldur hornsteinninn sem gerir allt ferlið mögulegt með því að skapa og viðhalda mjög stýrðu umhverfi á sameindastigi. Hlutverk hennar nær langt út fyrir einfalda loftfjarlægingu og setur nákvæmar eðlisfræðilegar aðstæður sem þarf til að setja á hágæða virka þunnfilmu.
Helsta ástæðan fyrir því að þörf er á háu lofttæmi er að tryggja beina ferð uppgufaðra agna. Við andrúmsloftsþrýsting veldur mikill eðlisþyngd gassameinda tafarlausum og handahófskenndum árekstri sem dreifir húðunarefninu. Við háu lofttæmi (venjulega 10⁻⁴ til 10⁻⁶ mbar) eykst meðalfrjáls leið uppgufaðra atóma eða sameinda verulega í nokkra metra, sem gerir þeim kleift að ferðast beint frá upptökum að undirlaginu. Þetta gerir kleift að stjórna nákvæmri stjórn á þykkt filmunnar, einsleitni og samsetningu.
Ennfremur kemur umhverfi með miklu lofttæmi í veg fyrir oxun og mengun. Flestir málmar (t.d. ál, króm) og efnasambönd þeirra eru mjög hvarfgjarnir við uppgufunarhita. Nánast öll hvarfgjörn lofttegundir eins og súrefni og vatnsgufa hverfa tryggir að efnin setjist í hreinu, málmkenndu ástandi, sem er mikilvægt til að ná fram ákveðnum sjónrænum, rafmagns- eða vélrænum eiginleikum í lokahúðuninni. Þetta umhverfi veitir einnig frumeindahreint yfirborð undirlagsins með því að draga úr mengunarefnum, sem er nauðsynlegt fyrir sterka viðloðun filmunnar.
Lofttæmisdælukerfið virkar sem umhverfisverkfræðingur. Það verður að koma hratt á nauðsynlegum grunnþrýstingi, viðhalda stöðugleika á kraftmikinn hátt með því að fjarlægja útblástur úr efnum og innréttingum og meðhöndla aukaafurðir í hvarfgjörnum ferlum. Þessi stöðugleiki er lykillinn að stöðugri framleiðslugæðum frá einum framleiðslulotu til annars.
Mikilvæg þörf fyrir síun er tilkomin vegna þess að þetta nákvæma kerfi er verndað. Húðunarferlið sjálft getur myndað fínar agnir, skvettur eða þéttanlegar gufur. Án viðeigandi meðferðarinntakssíaÞessi mengunarefni geta sogað aftur inn í lofttæmisdæluna. Þetta leiðir til aukins slits á snúningshlutum og blöðum, mengunar á dæluolíu (í olíuþéttum kerfum) og smám saman lækkunar á dæluhraða og endanlegu lofttæmi. Að lokum hefur þetta áhrif á stöðugleika ferlisins, styttir endingartíma dælunnar og eykur viðhaldskostnað. Þess vegna er uppsetning viðeigandi sía - svo sem agnasíur, sameindagildrur eða kuldagildrur - ekki valkvæð heldur mikilvæg fjárfesting til að vernda lofttæmisdæluna, tryggja stöðuga húðunargæði og vernda framleiðslutíma.
Í heildina gera lofttæmisdælur kleift að framleiða uppgufunarhúðun með því að veita hreint, ómengað og stýrt umhverfi fyrir efnisflutning og filmumyndun. Að tengja þennan möguleika við öfluga síunarstefnu er nauðsynlegt til að ná fram áreiðanlegri, afkastamikilli og hagkvæmri þunnfilmuframleiðslu.
Birtingartími: 25. des. 2025
