Hálfleiðaratækni er kjarninn í nútíma iðnaði og gerir kleift að stjórna og flytja merki nákvæmlega í öllum forritum, allt frá rafeindatækjum og samskiptakerfum til gervigreindar og nýrra orkugeiranna. Meðal ýmissa hálfleiðaraefna gegnir einkristallað kísill ómissandi stöðu, þar sem hreinleiki þess hefur bein áhrif á afköst tækja og orkunýtni.
Framleiðsla á einkristalla kísill krefst sérstaks umhverfis, almennt þekkt sem kristaldrættarferli. Lofttæmistækni gegnir lykilhlutverki í að fjarlægja loft og óhreinindi og veitir þannig afar hreint rými fyrir vöxt kísillkristalla. Til að viðhalda hreinleika lofttæmishólfsins og vernda lofttæmisdæluna þarftu að velja fagmann.ryksía fyrir lofttæmisdælu.
Mikilvægt hlutverk ryksína í lofttæmisdælum í hálfleiðaraiðnaði
Rykfilter fyrir lofttæmisdælurvirka sem nauðsynlegar hindranir sem tryggja stöðugan rekstur lofttæmiskerfa. Þær grípa á áhrifaríkan hátt rykagnir sem annars myndu komast inn í lofttæmisdæluna og koma í veg fyrir vélrænt slit og stíflur í olíurásum. Í framleiðsluumhverfi hálfleiðara geta jafnvel agnir undir míkron valdið grindargöllum sem hafa áhrif á afköst flísanna og afköst.
Lykilatriði við val á síum í hálfleiðaraiðnaði
1. SíunarnákvæmniVelja þarf viðeigandi síunarstig í samræmi við kröfur ferlisins, yfirleitt þarf nákvæmni síunar upp á 0,1 míkron eða betri.
2. EfnissamrýmanleikiSíuefni verða að vera samhæfð við vinnslulofttegundir og lofttæmisumhverfi, oftast þarf að nota ryðfrítt stál eða sérstakar málmblöndur.
3. RykgeymslugetaÞó að nákvæmni síunar sé viðhaldið þarf nægilega rykgeymslugetu til að lengja endingartíma.
4. Einkenni þrýstingsfalls: Bæði upphafs- og lokaþrýstingsfall verður að vera stjórnað innan eðlilegra marka.
Sérstakar kröfur um síur fyrir hálfleiðaraiðnaðinn
Framleiðsla á hálfleiðurum setur afar miklar kröfur í lofttæmisumhverfi:
- Hreinlætiskröfur: Að viðhalda hreinu umhverfi í flokki 10 eða betra
- Kröfur um stöðugleika: Langtíma viðhald á stöðugu lofttæmi
- Mengunarvarnir: Forðast hugsanlega mengun af völdum olíugufu eða agna
Ráðlagðar síunarlausnir fyrir hálfleiðaraiðnaðinn
Fyrir hálfleiðaraiðnaðinn er mælt með fjölþrepa síunarkerfi:
1.Forsíur:Grípa stærri agnir til að vernda síðari nákvæmnisíur
2. AðalsíurNotið hágæða síunarefni til að tryggja nauðsynlega nákvæmni
3. Efnasíur (ef þörf krefur)Fjarlægið hugsanleg loftkennd mengunarefni
Að velja viðeigandisíur fyrir lofttæmisdælurÞetta lengir ekki aðeins endingartíma búnaðarins heldur tryggir einnig stöðugleika ferla og afköst vörunnar, sem veitir áreiðanlega vörn fyrir stórfellda samfellda framleiðslu í hálfleiðaraiðnaðinum.
Birtingartími: 26. ágúst 2025
