Che cosa è il rivestimento sotto vuoto?
Il rivestimento sotto vuoto è una tecnologia avanzata che deposita film sottili funzionali sulla superficie di substrati attraverso metodi fisici o chimici in un ambiente sotto vuoto. Il suo valore fondamentale risiede nell'elevata purezza, nell'elevata precisione e nella protezione ambientale, ed è ampiamente utilizzato in ottica, elettronica, utensili, nuove energie e altri settori.
Il sistema di rivestimento sotto vuoto deve essere dotato di filtri di ingresso?
Innanzitutto, scopriamo quali sono gli inquinanti più comuni nel rivestimento sotto vuoto. Ad esempio, particelle, polvere, vapori d'olio, vapore acqueo, ecc. Questi inquinanti, penetrando nella camera di rivestimento, causano una riduzione della velocità di deposizione, rendono lo strato di film irregolare e possono persino danneggiare l'apparecchiatura.
La situazione in cui il rivestimento sotto vuoto richiede filtri di ingresso
- Durante il processo di rivestimento, il materiale target spruzza particelle.
- I requisiti di purezza dello strato di pellicola sono elevati, soprattutto nei settori dell'ottica e dei semiconduttori.
- In presenza di gas corrosivi (facilmente generati durante lo sputtering reattivo). In questo caso, il filtro viene installato principalmente per proteggere la pompa a vuoto.
La situazione in cui il rivestimento sotto vuoto non richiede filtri di ingresso
- Molti fornitori di servizi di rivestimento sotto vuoto utilizzano un sistema ad alto vuoto completamente privo di olio (come una pompa molecolare + una pompa ionica) e l'ambiente di lavoro è pulito. Pertanto, non sono necessari filtri di ingresso né di scarico.
- Esiste un'altra situazione in cui i filtri di ingresso non sono necessari, ovvero quando il requisito di purezza dello strato di pellicola non è elevato, come nel caso di alcuni rivestimenti decorativi.
Altri sulla pompa a diffusione d'olio
- Se viene utilizzata una pompa dell'olio o una pompa a diffusione dell'olio,filtro di scaricodeve essere installato.
- L'elemento filtrante polimerico non è resistente alle alte temperature della pompa a diffusione
- Quando si utilizza una pompa a diffusione d'olio, l'olio della pompa potrebbe rifluire e contaminare la camera di rivestimento. Pertanto, è necessario installare una trappola fredda o un deflettore per prevenire l'incidente.
In conclusione, se il sistema di rivestimento sotto vuoto necessitafiltri di ingressodipende dai requisiti del processo, dalla progettazione del sistema e dal rischio di contaminazione.
Data di pubblicazione: 19 aprile 2025
