一般的な真空ポンプ入口フィルター
真空ポンプの機能入口フィルター真空ポンプの排気時に不純物を分離するのに役立ちます。塵や蒸気などの不純物の種類に応じて、適切なダストフィルターまたは気液分離器が選択されます。これにより、真空ポンプが空気を吸い込む際に不純物を吸い込み、真空ポンプの内部部品が損傷したり、作動流体が汚染されたりするのを防ぎます。真空引きの際にフィルターを設置する必要があるのは当然ですが、真空を解除する際にもフィルターが必要なのはなぜでしょうか？
真空破壊とは何ですか?
真空破壊とは、真空チャンバーの内外の圧力を均衡させることで真空を破ることです。真空中で製品を処理することを想像してみてください。チャンバー内外の気圧差が大きいため、製品を取り出すには内外の気圧を均衡させる必要があります。通常、真空装置には「真空破壊」を実現するために専用のバルブが設置されています。そして、ここに設置されている入口フィルターは真空破壊フィルターと呼ばれます。つまり、真空フィルターは実際には入口フィルターであり、設置場所が異なるため、名称が異なっているだけです。
真空を破るときに入口フィルターを取り付ける必要があるのはなぜですか?
真空破壊操作中は、内外の気圧差が大きいため、バルブが開くとすぐに真空チャンバー内に空気が急速に吸い込まれます。この時、外部の不純物が空気とともに真空チャンバーや真空ポンプに入り込み、処理対象物を汚染する可能性があります。これを防ぐため、通常、バルブには入口フィルターが設置されています。これは、真空チャンバー内の製品を保護するだけでなく、真空装置を保護する役割も果たします。そのため、入口フィルター真空を破るときにも必要です。
投稿日時: 2025年5月7日
