真空コーティングとは何ですか?
真空コーティングは、真空環境下で物理的または化学的手法を用いて基板表面に機能性薄膜を形成する先進技術です。その核心価値は高純度、高精度、そして環境保護にあり、光学、電子、工具、新エネルギーなどの分野で広く利用されています。
真空コーティングシステムには入口フィルターを装備する必要がありますか?
まず、真空コーティングにおける一般的な汚染物質について学びましょう。例えば、粒子、埃、油蒸気、水蒸気などです。これらの汚染物質がコーティングチャンバーに入ると、堆積速度の低下、膜層の不均一化、さらには装置の損傷を引き起こす可能性があります。
真空コーティングに入口フィルターが必要な状況
- コーティング工程では、対象材料から粒子が飛散します。
- 特に光学や半導体の分野では、フィルム層の純度に対する要件は高くなります。
- 腐食性ガス（反応性スパッタリングで容易に生成されます）が発生する場合、主に真空ポンプを保護するためにフィルターを設置します。
真空コーティングに入口フィルターが不要な状況
- 多くの真空コーティングサービスプロバイダーは、完全にオイルフリーの高真空システム（分子ポンプ＋イオンポンプなど）を使用しており、作業環境はクリーンです。そのため、吸気フィルターはもちろん、排気フィルターも必要ありません。
- 入口フィルターが必要ない別の状況もあります。つまり、装飾コーティングなど、フィルム層の純度要件が高くない場合です。
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投稿日時: 2025年4月19日
