真空ポンプの種類や仕様によって、達成できる真空レベルは異なります。そのため、アプリケーションプロセスに必要な真空レベルを満たす真空ポンプを選択することが重要です。選択した真空ポンプがプロセス要件を満たすはずだったにもかかわらず、実際には満たせなかったという状況が発生することがあります。なぜでしょうか？
真空レベルが基準を満たしていない場合のトラブルシューティングプロセスの推奨事項
真空ポンプとシステムに互換性があることが確実な場合は、トラブルシューティングについては次のコンテンツを参照してください。
- 漏れ検出を優先する
- シールリングの老朽化および損傷。
- 溶接部またはねじ接続部の小さな亀裂。
- 真空バルブがしっかりと閉じられていないか、バルブシートが摩耗しています。
- ポンプオイルとフィルターの点検
ポンプオイルの乳化やフィルターの詰まりにより、性能が著しく低下します。
- 真空ゲージの読み取り値を確認します（誤判断を避けるため）。
真空レベルが基準を満たしていない場合
顧客はインストールしなかった入口フィルターシーリングリングに損傷がないことを確認しましたが、真空度が基準を満たしていません。そこで、お客様に真空ポンプの稼働中の写真を撮っていただきました。右の写真の通りです。問題に気づきましたか？お客様は真空ポンプとチャンバーをホースのみで接続し、密閉された接続管を使用していなかったため、接続部から空気が漏れ、真空度が基準を満たしていませんでした。
真空度が基準を満たさない根本的な原因は、通常、ポンプ自体ではなく、システムの漏れ、汚染、設計上の欠陥、または動作上の問題です。体系的なトラブルシューティングを行うことで、問題を迅速に特定し解決することができます。真空の問題の80%は漏れによって引き起こされていることは注目に値します。したがって、まず最初に確認すべきことは、真空ポンプの部品とシールの完全性、そしてシールの気密性です。入口フィルター.
投稿日時: 2025年4月26日
