真空技術を用いた工業生産プロセスにおいて、真空ポンプは必要な真空環境を作り出すために不可欠な装置です。これらのポンプを微粒子汚染から保護するために、一般的には入口フィルタが設置されています。しかし、フィルタ設置後に予期せぬ真空度の低下が報告されるケースが多くあります。この現象の原因と解決策について考察してみましょう。
真空度低下のトラブルシューティング
1.真空度の低下を測定する
2. 圧力差を確認する
- 高い場合: 抵抗の低いフィルターに交換する
- 正常の場合：シール/配管を点検する
3. フィルターなしでポンプの性能を確認する
4. メーカーの仕様を参照する
真空度低下の主な原因
1. フィルターとポンプの互換性の問題
高精度フィルターは優れた保護性能を発揮しますが、空気の流れを著しく制限する可能性があります。高密度のフィルターメディアは大きな抵抗を生み出し、ポンプ速度を15～30%低下させる可能性があります。これは特に以下の場合に顕著です。
- 油封式ロータリーベーンポンプ
- 液封真空システム
- 高スループットアプリケーション
2. 欠陥のシーリング
一般的なシーリングの問題は次のとおりです。
- 損傷したOリングまたはガスケット（表面が黒くなったり平らになったりして見える）
- フランジの位置ずれ（5～15°の位置ずれ）
- ファスナーのトルクが不十分（通常は25～30 N·m必要）
入口フィルタの選択ガイドライン
- フィルターの精度を実際の汚染物質のサイズに合わせる:
- 一般産業粉塵の場合50～100μm
- 微粒子の場合10～50μm
- 10μm未満はクリティカルなクリーンルーム用途のみ
- プリーツデザインを選択（フラットフィルターよりも表面積が40～60％増加）
-設置前検査を実施する:
- フィルターハウジングの整合性を確認する
- ガスケットの弾力性を確認します（3秒以内に反発するはずです）
- フランジの平坦度を測定（偏差<0.1mm）
覚えておいてください：最適なソリューションとは、保護レベルと通気量要件のバランスです。ほとんどの産業用途では、以下の機能を備えた中精度（20～50μm）のフィルターで最良の結果が得られます。
- 強化されたシーリングエッジ
- 耐腐食性ハウジング
- 標準化された接続インターフェース
問題が解決しない場合は、次の点を検討してください。
- より大きなフィルター表面積へのアップグレード
- 起動条件のためのバイパスバルブの実装
- 濾過専門家へのコンサルティングカスタムソリューション
これらのガイドラインに従うことで、施設はシステムの清浄度と真空性能の両方を維持でき、最終的には生産効率と機器の寿命が向上します。
投稿日時: 2025年6月6日
