Ing donya canggih deposisi film tipis, penguapan sinar elektron (e-beam) nduweni kemampuan kanggo nggawe lapisan padhet kanthi kemurnian dhuwur. Pitakonan dhasar babagan teknologi iki yaiku apa mbutuhake pompa vakum. Jawabane ya ora jelas. Sistem vakum kinerja dhuwur ora mung aksesoris nanging prasyarat mutlak supaya proses bisa mlaku kanthi efektif lan efisien.
Inti penguapan e-beam kalebu fokus sinar elektron kanthi energi dhuwur menyang bahan sumber (kayata emas, silikon oksida, utawa aluminium) sing ana ing wadah sing adhem banyu. Pemanasan lokal sing kuat nyebabake bahan kasebut cair lan nguap. Atom-atom sing nguap iki banjur lelungan ing jalur pandang lan ngembun ing substrat, mbentuk film tipis. Kabeh urutan iki gumantung banget ing lingkungan vakum dhuwur, biasane ing kisaran 10⁻³ Pa nganti 10⁻⁶ Pa.
Keperluan kanggo vakum ekstrem kasebut ana telu. Kaping pisanan, njamin perjalanan sinar elektron sing ora bisa diganggu. Ing ngarsane akeh banget molekul gas, elektron bakal buyar lan tabrakan, ilang energi lan gagal kanggo ngirim panas klempakan kanggo target. Beam bakal defocus, nggawe proses ora efektif.
Kapindho, lan sing paling penting, lingkungan vakum njamin kemurnian lan kualitas film sing disimpen. Tanpa iku, gas ampas kaya oksigen lan uap banyu bakal contaminate lapisan ing rong cara ngancurake: padha bakal reaksi kimia karo materi nguap kanggo mbentuk oksida sing ora dikarepake, lan padha bakal digabung menyang film akeh minangka impurities. Iki nyebabake film sing keropos, kurang adesif, lan nduweni sifat mekanik lan optik sing luwih murah. Vakum dhuwur nggawe jalur "balistik" sing resik kanggo atom sing nguap, supaya bisa ngembun dadi lapisan sing padhet, seragam, lan integritas dhuwur.
Pungkasan, vakum nglindhungi filamen bedhil elektron. Katoda thermionic sing mancarake elektron beroperasi ing suhu sing dhuwur banget lan bakal ngoksidasi lan kobong meh langsung yen kena ing hawa.
Mulane, sistem pumping canggih-nggabungke Pumps roughing lan pumps vakum dhuwur kaya turbomolecular utawa pump difusi-iku indispensable. Kesimpulane, pompa vakum ora mung ngaktifake penguapan sinar elektron; iku nemtokake, mbentuk jaminan unbreakable sing penting kanggo prodhuksi kemul-kinerja dhuwur nuntut dening industri saka semikonduktor kanggo optik. Ana uga kudusaringankanggo nglindhungi pompa vakum, yen ora ana,hubungi kita.
Wektu kirim: Nov-12-2025
