თხელი ფენის დეპონირების დახვეწილ სამყაროში, ელექტრონული სხივის (ელექტრონული სხივის) აორთქლება გამოირჩევა მაღალი სისუფთავის, მკვრივი საფარის შექმნის უნარით. ამ ტექნოლოგიასთან დაკავშირებული ფუნდამენტური კითხვაა, საჭიროებს თუ არა მას ვაკუუმური ტუმბო. პასუხი ცალსახა დადებითია. მაღალი ხარისხის ვაკუუმური სისტემა არ არის მხოლოდ აქსესუარი, არამედ აბსოლუტური წინაპირობა პროცესის ეფექტურად და ეფექტიანად ფუნქციონირებისთვის.
ელექტრონული სხივის აორთქლების ბირთვი გულისხმობს მაღალი ენერგიის ელექტრონული სხივის ფოკუსირებას წყლით გაცივებულ ჭურჭელში არსებულ წყარო მასალაზე (მაგალითად, ოქრო, სილიციუმის ოქსიდი ან ალუმინი). ინტენსიური ლოკალური გათბობა იწვევს მასალის დნობას და აორთქლებას. ეს აორთქლებული ატომები შემდეგ მოძრაობენ ხედვის ხაზის გასწვრივ და კონდენსირდებიან სუბსტრატზე, ქმნიან თხელ ფენას. მთელი ეს თანმიმდევრობა კრიტიკულად არის დამოკიდებული მაღალი ვაკუუმის გარემოზე, როგორც წესი, 10⁻³ Pa-დან 10⁻⁶ Pa-მდე დიაპაზონში.
ასეთი უკიდურესი ვაკუუმის აუცილებლობა სამმაგია. პირველი, ის უზრუნველყოფს ელექტრონული სხივის შეუფერხებელ მოძრაობას. ძალიან ბევრი გაზის მოლეკულის არსებობის შემთხვევაში, ელექტრონები გაიფანტება და შეეჯახება, დაკარგავს ენერგიას და ვერ შეძლებს სამიზნეზე კონცენტრირებული სითბოს მიწოდებას. სხივი დეფოკუსირდება, რაც პროცესს არაეფექტურს გახდის.
მეორეც, და რაც მთავარია, ვაკუუმური გარემო უზრუნველყოფს დალექილი ფენის სისუფთავეს და ხარისხს. მის გარეშე, ნარჩენი აირები, როგორიცაა ჟანგბადი და წყლის ორთქლი, საფარს ორი დამანგრეველი გზით დააბინძურებდა: ისინი ქიმიურად რეაგირებდნენ აორთქლებულ მასალასთან არასასურველი ოქსიდების წარმოსაქმნელად და მინარევების სახით შეერწყებოდნენ მზარდ ფენას. შედეგად, ფენა ფოროვანია, ნაკლებად წებოვანი და აქვს დაბალი მექანიკური და ოპტიკური თვისებები. მაღალი ვაკუუმი ქმნის სუფთა, „ბალისტურ“ გზას აორთქლებული ატომებისთვის, რაც მათ საშუალებას აძლევს, კონდენსირდნენ მკვრივ, ერთგვაროვან და მაღალი მთლიანობის ფენად.
და ბოლოს, ვაკუუმი იცავს ელექტრონული ქვემეხის ძაფს. ელექტრონების გამომსხივებელი თერმოიონული კათოდი მუშაობს უკიდურესად მაღალ ტემპერატურაზე და ჰაერთან შეხების შემთხვევაში თითქმის მყისიერად იჟანგება და იწვის.
ამიტომ, დახვეწილი სატუმბი სისტემა - რომელიც აერთიანებს უხეში ტუმბოებსა და მაღალი ვაკუუმის ტუმბოებს, როგორიცაა ტურბომოლეკულური ან დიფუზიური ტუმბოები - აუცილებელია. დასკვნის სახით, ვაკუუმური ტუმბო არა მხოლოდ ელექტრონული სხივის აორთქლებას უზრუნველყოფს, არამედ განსაზღვრავს მას, ქმნის ურღვევ კავშირს, რომელიც აუცილებელია ნახევარგამტარებიდან ოპტიკამდე ინდუსტრიების მიერ მოთხოვნილი მაღალი ხარისხის საფარების წარმოებისთვის. ასევე უნდა არსებობდესფილტრებივაკუუმური ტუმბოების დასაცავად, თუ არ არსებობს,დაგვიკავშირდით.
გამოქვეყნების დრო: 2025 წლის 12 ნოემბერი
