Вакуумдық жабын дегеніміз не?
Вакуумдық жабын - бұл вакуумдық ортада физикалық немесе химиялық әдістер арқылы субстраттардың бетіндегі функционалды жұқа қабықшаларды тұндыратын озық технология. Оның негізгі құндылығы жоғары тазалықта, жоғары дәлдікте және қоршаған ортаны қорғауда жатыр және оптикада, электроникада, құралдарда, жаңа энергетикада және басқа салаларда кеңінен қолданылады.
Вакуумдық жабын жүйесін кіріс сүзгілерімен жабдықтау қажет пе?
Біріншіден, вакуумдық жабындағы жалпы ластаушы заттардың не екенін білейік. Мысалы, бөлшектер, шаң, май буы, су буы және т.б. Бұл ластаушы заттар жабын камерасына түсу жылдамдығының төмендеуіне, пленка қабатының біркелкі емес болуына және тіпті жабдықтың бұзылуына әкеледі.
Вакуумдық жабын кіріс сүзгілерін қажет ететін жағдай
- Қаптау процесі кезінде мақсатты материал бөлшектерді шашыратады.
- Пленка қабатының тазалық талабы жоғары, әсіресе оптика және жартылай өткізгіштер салаларында.
- Коррозиялық газдар бар (реактивті шашырату кезінде оңай түзіледі). Бұл жағдайда сүзгі негізінен вакуумдық сорғыны қорғау үшін орнатылады.
Вакуумдық жабын кіріс сүзгілерін қажет етпейтін жағдай
- Көптеген вакуумдық жабын қызметтерін жеткізушілер толығымен майсыз жоғары вакуумдық жүйені (мысалы, молекулалық сорғы + иондық сорғы) пайдаланады және жұмыс ортасы таза. Сондықтан кіріс сүзгілерінің, тіпті шығыс сүзгілерінің қажеті жоқ.
- Кіріс сүзгілері талап етілмейтін тағы бір жағдай бар, яғни пленка қабатының тазалық талабы жоғары емес, мысалы, кейбір сәндік жабындар үшін.
Мұнай диффузиялық сорғы туралы басқалары
- Егер май сорғысы немесе мұнай диффузиялық сорғы пайдаланылса,шығару сүзгісіорнатылуы керек.
- Полимерлі сүзгі элементі диффузиялық сорғының жоғары температурасына төзімді емес
- Майдың диффузиялық сорғысын пайдаланған кезде сорғы майы кері ағып, жабын камерасын ластауы мүмкін. Сондықтан апатты болдырмау үшін оған суық қақпақ немесе май қалқа қажет.
Қорытындылай келе, вакуумдық жабын жүйесі қажет пекіріс сүзгілерітехнологиялық талаптарға, жүйе дизайнына және ластану қаупіне байланысты.
Жіберу уақыты: 19 сәуір-2025 ж
