Жіңішке қабықша тұндырудың күрделі әлемінде электронды сәуленің булануы жоғары таза, тығыз жабындарды жасау қабілетімен ерекшеленеді. Бұл технологияға қатысты негізгі сұрақ - бұл вакуумдық сорғы қажет пе. Жауап біржақты иә. Жоғары өнімді вакуумдық жүйе тек қосалқы құрал ғана емес, процестің тиімді және тиімді жұмыс істеуінің абсолютті алғышарты болып табылады.
Электрондық сәуленің булануының өзегі сумен салқындатылған тигельдегі бастапқы материалға (мысалы, алтын, кремний оксиді немесе алюминий) жоғары энергиялы электронды сәулені фокустауды қамтиды. Қарқынды жергілікті қыздыру материалдың балқуына және булануына әкеледі. Содан кейін бұл буланған атомдар көру сызығы бойынша қозғалады және субстратта конденсацияланып, жұқа қабықша түзеді. Бұл бүкіл реттілік әдетте 10⁻³ Па және 10⁻⁶ Па аралығындағы жоғары вакуумды ортаға өте тәуелді.
Мұндай экстремалды вакуумның қажеттілігі үш есе көп. Біріншіден, ол электронды сәуленің кедергісіз қозғалысын қамтамасыз етеді. Тым көп газ молекулалары болған кезде электрондар шашырап соқтығысады, энергияны жоғалтады және мақсатқа шоғырланған жылуды жеткізе алмайды. Сәуле фокустан шығып, процесті тиімсіз етеді.
Екіншіден, ең бастысы, вакуумдық орта тұндырылған пленканың тазалығы мен сапасына кепілдік береді. Онсыз оттегі мен су буы сияқты қалдық газдар жабынды екі жойқын жолмен ластайды: олар буланған материалмен химиялық әрекеттесіп, қажетсіз оксидтерді түзеді және олар өсіп келе жатқан пленкаға қоспалар ретінде қосылады. Бұл кеуекті, аз жабысқақ және механикалық және оптикалық қасиеттері төмен пленкаға әкеледі. Жоғары вакуум буланған атомдар үшін таза, «баллистикалық» жол жасайды, бұл олардың тығыз, біркелкі және жоғары тұтастықты қабатқа конденсациялануына мүмкіндік береді.
Соңында, вакуум электронды тапаншаның жіптерін қорғайды. Электрондарды шығаратын термионды катод өте жоғары температурада жұмыс істейді және ауаға әсер еткенде бірден тотығады және жанып кетеді.
Сондықтан турбомолекулалық немесе диффузиялық сорғылар сияқты өрескел сорғылар мен жоғары вакуумды сорғыларды біріктіретін күрделі сорғы жүйесі өте қажет. Қорытындылай келе, вакуумдық сорғы электронды сәуленің булануын ғана қамтамасыз етпейді; ол жартылай өткізгіштерден оптикаға дейінгі салалар талап ететін жоғары өнімді жабындарды өндіру үшін маңызды болып табылатын үзілмейтін байланысты құра отырып, оны анықтайды. Сондай-ақ болуы керексүзгілервакуумдық сорғыларды қорғау үшін, егер жоқ болса,бізбен хабарласыңы.
Жіберу уақыты: 12 қараша 2025 ж
