Жетілдірілген өндірісте жиі кездесетін сұрақ: Электрондық сәулемен дәнекерлеу (EBW) үшін вакуумдық сорғы қажет пе? Қысқа жауап - бұл иә, көп жағдайда. Вакуумдық сорғы тек қосалқы құрал ғана емес, оның бірегей мүмкіндіктерін қамтамасыз ететін кәдімгі EBW жүйесінің жүрегі болып табылады.
EBW ядросы материалдарды балқыту және балқыту үшін жоғары жылдамдықты электрондардың бағытталған ағынын құруды қамтиды. Бұл процесс газ молекулаларына өте сезімтал. Вакуумды емес ортада бұл молекулалар электрондармен соқтығысып, сәуленің шашырауына, энергияның жоғалуына және дефокусқа әкеледі. Нәтиже EBW дәлдігі мен терең ену мақсатын мүлде жоққа шығаратын кең, дәл емес және тиімсіз дәнекерлеу болады. Сонымен қатар, электрондарды шығаратын электронды тапаншаның катоды өте жоғары температурада жұмыс істейді және ауаға әсер еткенде бірден тотығады және жанып кетеді.
Сондықтан жоғары вакуумды EBW, ең кең таралған түрі, әдетте 10⁻² - 10⁻⁴ Па аралығындағы ерекше таза ортаны қажет етеді. Бұған қол жеткізу үшін күрделі көп сатылы сорғы жүйесі қажет. Дөрекі сорғы алдымен атмосфераның негізгі бөлігін, одан кейін диффузиялық немесе турбомолекулярлық сорғы сияқты жоғары вакуумды сорғыны алып тастайды, бұл оңтайлы жұмыс істеу үшін қажетті таза жағдайларды жасайды. Бұл ластанусыз, жоғары тұтастықты дәнекерлеуді қамтамасыз етеді, бұл оны аэроғарыштық, медициналық және жартылай өткізгіштік қолданбалар үшін таптырмас етеді.
Орташа немесе жұмсақ вакуумды EBW деп аталатын нұсқа жоғарырақ қысымда (шамамен 1-10 Па) жұмыс істейді. Ол өнімділікті арттыру үшін сорғыны тоқтату уақытын айтарлықтай қысқартқанымен, шамадан тыс шашырау мен тотығудың алдын алу үшін осы бақыланатын, төмен қысымды ортаны сақтау үшін вакуумдық сорғыларды мүлдем қажет етеді.
Белгілі ерекшелік - Вакуумды емес EBW, мұнда дәнекерлеу ашық атмосферада орындалады. Дегенмен, бұл жаңылыстырады. Дайындама камерасы жойылған кезде, электронды тапаншаның өзі әлі де жоғары вакуумда сақталады. Содан кейін сәуле дифференциалды қысымның апертуралары арқылы ауаға жіберіледі. Бұл әдіс айтарлықтай сәуленің шашырауынан зардап шегеді және оны пайдалануды белгілі бір жоғары көлемді қолданбалармен шектей отырып, қатаң рентгендік қорғанысты қажет етеді.
Қорытындылай келе, электронды сәуле мен вакуумдық сорғы арасындағы синергия осы қуатты технологияны анықтайды. EBW танымал жоғары сапа мен дәлдікке қол жеткізу үшін вакуумдық сорғы опция емес - бұл негізгі қажеттілік.
Жіберу уақыты: 10 қараша 2025 ж
