Булану жабыны, негізгі физикалық бу тұндыру (PVD) процесі, негізінен вакуумдық технологияға негізделген. Вакуумдық сорғы тек қосалқы құрылғы ғана емес, сонымен қатар жоғары бақыланатын молекулалық масштабты ортаны жасау және қолдау арқылы бүкіл процесті қамтамасыз ететін негізгі тас болып табылады. Оның функциясы қарапайым ауаны шығарудан әлдеқайда кең, жоғары сапалы функционалды жұқа қабықшаларды тұндыру үшін қажетті нақты физикалық жағдайларды белгілейді.
Жоғары вакуумды талап етудің негізгі себебі - буланған бөлшектердің түзу сызықты қозғалысын қамтамасыз ету. Атмосфералық қысым кезінде газ молекулаларының жоғары тығыздығы лезде және кездейсоқ соқтығысуларды тудырады, жабын материалын шашыратады. Жоғары вакуум кезінде (әдетте 10⁻⁴-ден 10⁻⁶ мбар-ға дейін) буланған атомдардың немесе молекулалардың орташа еркін жолы бірнеше метрге дейін күрт артады, бұл олардың көзден субстратқа тікелей қозғалуына мүмкіндік береді. Бұл қабықша қалыңдығын, біркелкілігін және құрамын дәл бақылауға мүмкіндік береді.
Сонымен қатар, жоғары вакуумдық орта тотығу мен ластанудың алдын алады. Көптеген металдар (мысалы, алюминий, хром) және қосылыстар булану температурасында жоғары реактивті болады. Оттегі және су буы сияқты реактивті газдардың жойылуына дерлік әсер етуі материалдардың таза, металл күйінде шөгуін қамтамасыз етеді, бұл соңғы жабында нақты оптикалық, электрлік немесе механикалық қасиеттерге қол жеткізу үшін өте маңызды. Бұл орта сонымен қатар ластаушы заттарды десорбциялау арқылы атомдық таза субстрат бетін қамтамасыз етеді, бұл пленканың берік адгезиясын қамтамасыз ету үшін маңызды.
Вакуумдық сорғы жүйесі қоршаған ортаны қорғау инженері ретінде жұмыс істейді. Ол қажетті негізгі қысымды тез орнатуы, материалдар мен арматуралардан газдың шығуын кетіру арқылы тұрақтылықты динамикалық түрде сақтауы және реактивті процестердегі қосалқы өнімдерді өңдеуі керек. Бұл тұрақтылық сериялық өндіріс сапасының тұрақтылығы үшін маңызды.
Сүзудің маңызды қажеттілігі осы дәл жүйені қорғаудан туындайды. Жабу процесінің өзі ұсақ бөлшектерді, шашыраған тамшыларды немесе конденсацияланатын буларды тудыруы мүмкін. Тиісті түрде болмасакіріс сүзгісі, бұл ластаушы заттар вакуумдық сорғыға қайта тартылуы мүмкін. Бұл роторлар мен қалақтардың тозуының артуына, сорғы майының ластануына (маймен тығыздалған жүйелерде) және айдау жылдамдығының және соңғы вакуумның біртіндеп төмендеуіне әкеледі. Түптеп келгенде, бұл процестің тұрақтылығына нұқсан келтіреді, сорғының қызмет ету мерзімін қысқартады және техникалық қызмет көрсету шығындарын арттырады. Сондықтан, тиісті сүзгілерді, мысалы, бөлшектер сүзгілерін, молекулалық тұзақтарды немесе суық тұзақтарды орнату міндетті емес, бірақ вакуумдық сорғыны қорғау, жабынның тұрақты сапасын қамтамасыз ету және өндірістің жұмыс уақытын сақтау үшін маңызды инвестиция болып табылады.
Жалпы алғанда, вакуумдық сорғылар материалды тасымалдау және қабықша түзу үшін таза, ластанбаған және бақыланатын ортаны қамтамасыз ету арқылы булану жабынын жасауға мүмкіндік береді. Бұл мүмкіндікті сенімді, жоғары өнімді және үнемді жұқа қабықша өндірісіне қол жеткізу үшін сенімді сүзу стратегиясымен біріктіру өте маңызды.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 25 желтоқсан
