ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಬಳಕೆದಾರರಿಗೆ, ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು ನಿಸ್ಸಂದೇಹವಾಗಿ ಪರಿಚಿತ ಸಾಧನಗಳಾಗಿವೆ. ಈ ಪಂಪ್‌ಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಇತರ ಯಾಂತ್ರಿಕ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಿ ಬ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುವ ಪಂಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ. ನಿರ್ವಾತ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವಿರುವ ಸಾಧನಗಳಾಗಿ, ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅವುಗಳ ಬ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಪಂಪ್‌ಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಪ್ರತಿ ಸೆಕೆಂಡಿಗೆ 70 ಲೀಟರ್‌ಗಳ ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಯಾಂತ್ರಿಕ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರತಿ ಸೆಕೆಂಡಿಗೆ 300 ಲೀಟರ್‌ಗಳ ರೇಟ್ ಮಾಡಲಾದ ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಜೋಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇಂದು, ನಾವು ಹೆಚ್ಚಿನ-ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆ ಏಕೆ ಎಂದು ಅನ್ವೇಷಿಸುತ್ತೇವೆಒಳಹರಿವಿನ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳುಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ ಶಿಫಾರಸು ಮಾಡುವುದಿಲ್ಲ.
ಈ ಶಿಫಾರಸನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು, ನಾವು ಮೊದಲು ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಹೇಗೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ ಎಂಬುದನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಬೇಕು. ಪಂಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಯಾಂತ್ರಿಕ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಪ್ರಾರಂಭಿಸುವುದರೊಂದಿಗೆ ಪ್ರಾರಂಭವಾಗುತ್ತದೆ. ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್ ಸರಿಸುಮಾರು 1 kPa ತಲುಪಿದಾಗ ಮತ್ತು ಅದರ ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗ ಕಡಿಮೆಯಾಗಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸಿದಾಗ, ಅಂತಿಮ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್ ಸಕ್ರಿಯಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಈ ಸಂಘಟಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯು ನಿರ್ವಾತ ಚಕ್ರದಾದ್ಯಂತ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಒತ್ತಡ ಕಡಿತವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಯ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳೊಂದಿಗಿನ ಮೂಲಭೂತ ಸಮಸ್ಯೆ ಅವುಗಳ ಅಂತರ್ಗತ ವಿನ್ಯಾಸ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಲ್ಲಿದೆ. ಈ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಸಣ್ಣ ರಂಧ್ರ ಗಾತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ದಟ್ಟವಾದ ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಧ್ಯಮವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ, ಇದು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿಗೆ ಗಣನೀಯ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುತ್ತದೆ. ತಮ್ಮ ರೇಟ್ ಮಾಡಲಾದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ಅನಿಲ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುವ ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್‌ಗಳಿಗೆ, ಈ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಪ್ರತಿರೋಧವು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗವನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಯ ಫಿಲ್ಟರ್‌ನಲ್ಲಿ ಒತ್ತಡದ ಕುಸಿತವು 10-20 mbar ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನದನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು, ಇದು ಪಂಪ್‌ನ ಗುರಿ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟವನ್ನು ತಲುಪುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದ ಮೇಲೆ ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.
ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಧೂಳಿನ ಕಣಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಸಿಸ್ಟಮ್ ವಿನ್ಯಾಸಕರು ಶೋಧನೆಯನ್ನು ಒತ್ತಾಯಿಸಿದಾಗ, ಪರ್ಯಾಯ ಪರಿಹಾರಗಳು ಲಭ್ಯವಿದೆ. ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ಫಿಲ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಒಂದು ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ವಿಧಾನವನ್ನು ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುತ್ತದೆ. ಫಿಲ್ಟರ್ ಅಂಶದ ಮೇಲ್ಮೈ ವಿಸ್ತೀರ್ಣವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಅನಿಲ ಅಣುಗಳಿಗೆ ಲಭ್ಯವಿರುವ ಹರಿವಿನ ಮಾರ್ಗವು ಅದಕ್ಕೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ವಿನ್ಯಾಸ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯು ಅತಿಯಾದ ಹರಿವಿನ ಪ್ರತಿರೋಧದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಪಂಪಿಂಗ್ ವೇಗ ಕಡಿತವನ್ನು ತಗ್ಗಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ. 30-50% ಹೆಚ್ಚಿನ ಮೇಲ್ಮೈ ವಿಸ್ತೀರ್ಣವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಫಿಲ್ಟರ್ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅದೇ ಶೋಧನೆ ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪ್ರಮಾಣಿತ-ಗಾತ್ರದ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಒತ್ತಡದ ಕುಸಿತವನ್ನು 25-40% ರಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಆದಾಗ್ಯೂ, ಈ ಪರಿಹಾರವು ತನ್ನದೇ ಆದ ಮಿತಿಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ವ್ಯವಸ್ಥೆಯೊಳಗಿನ ಭೌತಿಕ ಸ್ಥಳಾವಕಾಶದ ನಿರ್ಬಂಧಗಳು ದೊಡ್ಡ ಫಿಲ್ಟರ್ ವಸತಿಗಳನ್ನು ಹೊಂದಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗದಿರಬಹುದು. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ದೊಡ್ಡ ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು ಆರಂಭಿಕ ಒತ್ತಡದ ಕುಸಿತವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿದರೂ, ಅವು ಇನ್ನೂ ಅದೇ ಶೋಧನೆ ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ, ಇದು ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಅಡಚಣೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು ಮತ್ತು ಕಾಲಾನಂತರದಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಕ್ರಮೇಣ ಹೆಚ್ಚಿಸಬಹುದು. ಗಣನೀಯ ಪ್ರಮಾಣದ ಧೂಳಿನ ಹೊರೆಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚು ಆಗಾಗ್ಗೆ ನಿರ್ವಹಣಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಮತ್ತು ಸಂಭಾವ್ಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ನಿರ್ವಹಣಾ ವೆಚ್ಚಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.
ಸೂಕ್ತ ವಿಧಾನನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಪರಿಗಣಿಸುವುದನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಮಟ್ಟಗಳು ಮತ್ತು ಕಣ ಶೋಧನೆ ಎರಡೂ ಅತ್ಯಗತ್ಯವಾಗಿರುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ, ಎಂಜಿನಿಯರ್‌ಗಳು ಬಹು-ಹಂತದ ಶೋಧನೆ ತಂತ್ರವನ್ನು ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸುವುದನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಬಹುದು. ಇದು ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್‌ಗೆ ಮೊದಲು ಕಡಿಮೆ-ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಯ ಪೂರ್ವ-ಫಿಲ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಬ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಪಂಪ್‌ನ ಇನ್ಲೆಟ್‌ನಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ಸೂಕ್ಷ್ಮತೆಯ ಫಿಲ್ಟರ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸುವುದನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರಬಹುದು. ಅಂತಹ ಸಂರಚನೆಯು ಸಿಸ್ಟಮ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುವಾಗ ಎರಡೂ ಪಂಪ್ ಪ್ರಕಾರಗಳಿಗೆ ಸಾಕಷ್ಟು ರಕ್ಷಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಈ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಫಿಲ್ಟರ್ ಸ್ಥಿತಿಯ ನಿಯಮಿತ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಫಿಲ್ಟರ್ ಹೌಸಿಂಗ್‌ನಾದ್ಯಂತ ಡಿಫರೆನ್ಷಿಯಲ್ ಪ್ರೆಶರ್ ಗೇಜ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುವುದರಿಂದ ನಿರ್ವಾಹಕರು ಒತ್ತಡದ ಕುಸಿತವು ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಮೊದಲು ಪ್ರತಿರೋಧದ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ನಿಗದಿಪಡಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ಆಧುನಿಕ ಫಿಲ್ಟರ್ ವಿನ್ಯಾಸಗಳು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಬಹುದಾದ ಅಥವಾ ಮರುಬಳಕೆ ಮಾಡಬಹುದಾದ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಸಹ ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ, ಇದು ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗೆ ಸಾಕಷ್ಟು ರಕ್ಷಣೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವಾಗ ದೀರ್ಘಕಾಲೀನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಅಕ್ಟೋಬರ್-15-2025
