진공코팅이란?
진공 코팅은 진공 환경에서 물리적 또는 화학적 방법을 통해 기판 표면에 기능성 박막을 증착하는 첨단 기술입니다. 핵심 가치는 고순도, 고정밀, 그리고 환경 보호이며, 광학, 전자, 공구, 신에너지 등 다양한 분야에서 널리 사용되고 있습니다.
진공 코팅 시스템에 입구 필터가 장착되어야 합니까?
먼저, 진공 코팅 과정에서 흔히 발생하는 오염 물질이 무엇인지 알아보겠습니다. 예를 들어, 입자, 먼지, 유증기, 수증기 등이 있습니다. 이러한 오염 물질이 코팅 챔버로 유입되면 증착 속도가 저하되고, 박막층이 고르지 않게 되며, 심지어 장비가 손상될 수도 있습니다.
진공 코팅에 입구 필터가 필요한 상황
- 코팅 과정에서 대상 물질에 입자가 튀게 됩니다.
- 특히 광학 및 반도체 분야에서는 필름 층의 순도에 대한 요구가 높습니다.
- 부식성 가스(반응성 스퍼터링에서 쉽게 생성됨)가 있습니다. 이 경우 필터는 주로 진공 펌프를 보호하기 위해 설치됩니다.
진공코팅에 인렛필터가 필요없는 상황
- 많은 진공 코팅 서비스 업체는 완전 오일프리 고진공 시스템(분자 펌프 + 이온 펌프)을 사용하며, 작업 환경이 깨끗합니다. 따라서 흡입 필터는 물론 배기 필터도 필요하지 않습니다.
- 입구 필터가 필요하지 않은 또 다른 상황은, 예를 들어 일부 장식용 코팅의 경우처럼 필름 층의 순도 요구 사항이 높지 않은 경우입니다.
오일 확산 펌프에 대한 기타 정보
게시 시간: 2025년 4월 19일
