다양한 종류와 사양의 진공 펌프가 달성할 수 있는 진공도는 다릅니다. 따라서 적용 공정에 필요한 진공도를 충족할 수 있는 진공 펌프를 선택하는 것이 중요합니다. 경우에 따라 선택한 진공 펌프가 공정 요건을 충족할 수 있었음에도 불구하고 달성하지 못하는 경우가 있습니다. 그 이유는 무엇일까요?
진공 수준이 표준을 충족하지 못하는 경우 문제 해결 프로세스 권장 사항
진공 펌프와 시스템이 호환된다고 확신하는 경우, 다음 내용을 참조하여 문제 해결을 진행할 수 있습니다.
- 누출 감지를 우선시하세요
- 씰 링의 노화 및 손상
- 용접이나 나사산 연결부에 작은 균열이 있음
- 진공 밸브가 단단히 닫히지 않았거나 밸브 시트가 마모되었습니다.
- 펌프 오일과 필터를 확인하세요
펌프 오일의 유화나 필터의 막힘으로 인해 성능이 크게 저하됩니다.
- 진공 게이지의 판독값을 확인하세요(잘못된 판단을 방지하기 위해).
진공 수준이 표준에 맞지 않는 경우
고객이 설치하지 않았습니다입구 필터씰링 링은 정상이지만 진공도가 기준에 미치지 못하는 것을 확인했습니다. 그런 다음 오른쪽 사진과 같이 진공 펌프가 작동하는 모습을 사진으로 찍어 달라고 요청했습니다. 문제를 발견하셨나요? 고객은 진공 펌프를 챔버에 연결할 때 밀폐형 연결 파이프를 사용하지 않고 호스만 사용했습니다. 이로 인해 연결부에서 공기 누출이 발생하여 진공도가 기준에 미치지 못했습니다.

진공 불량의 근본 원인은 대개 펌프 자체가 아니라 시스템 누출, 오염, 설계 결함 또는 작동 문제입니다. 체계적인 문제 해결을 통해 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다. 진공 문제의 80%는 누출로 인해 발생한다는 점에 유의해야 합니다. 따라서 가장 먼저 확인해야 할 것은 진공 펌프 부품과 씰의 무결성, 그리고 밀봉 상태입니다.입구 필터.
게시 시간: 2025년 4월 26일