Di cîhana sofîstîke ya danîna fîlmên tenik de, buharbûna bi tîrêjên elektronan (e-tîrêj) bi şiyana xwe ya çêkirina pêçanên bi paqijiya bilind û tîr derdikeve pêş. Pirsek bingehîn a li dora vê teknolojiyê ev e ku gelo ew hewceyê pompeyek valahiyê ye. Bersiv bi eşkere erê ye. Sîstemek valahiyê ya performansa bilind ne tenê aksesûarek e, lê şertek mutleq e ku pêvajo bi bandor û bikêrhatî bixebite.
Bingeha buharbûna tîrêjên elektronîkî balkişandina tîrêjek elektronê ya enerjiya bilind li ser materyalek çavkaniyê (wek zêr, oksîda silîkonê, an jî alumînyûm) ku di nav tenûrek avê-sar de ye, vedihewîne. Germbûna herêmî ya dijwar dibe sedema helandin û buharbûna materyalê. Dûv re ev atomên buharbûyî di rêyek xêza dîtinê de diçin û li ser substratek kom dibin, fîlimek zirav çêdikin. Ev rêza tevahî bi girîngî bi hawîrdorek valahiyek bilind ve girêdayî ye, bi gelemperî di navbera 10⁻³ Pa û 10⁻⁶ Pa de.
Pêwîstiya valahiyek ewqas zêde sê qat e. Ya yekem, ew rêwîtiya bê asteng a tîrêjên elektronan misoger dike. Di hebûna pir molekulên gazê de, elektron dê belav bibin û li hev bikevin, enerjiya xwe winda bikin û nikaribin germahiya konsantre bigihînin hedefê. Tîrêj dê ji fokusê derkeve, pêvajoyê bêbandor bike.
Ya duyemîn, û ya herî girîng, jîngeha valahiyê paqijî û kalîteya fîlma razayî garantî dike. Bêyî wê, gazên mayî yên wekî oksîjen û buhara avê dê pêçanê bi du awayên wêranker qirêj bikin: ew ê bi awayekî kîmyayî bi madeya buharbûyî re reaksiyonê bikin da ku oksîdên nexwestî çêbikin, û ew ê wekî qirêjî di nav fîlma mezinbûyî de bibin yek. Ev dibe sedema fîlmek ku poroz e, kêmtir zeliqok e, û xwedan taybetmendiyên mekanîkî û optîkî yên nebaş e. Valahiya bilind rêyek paqij, "balîstîk" ji bo atomên buharbûyî diafirîne, dihêle ku ew di nav tebeqeyek tîr, yekreng û bi yekparebûna bilind de kondens bibin.
Di dawiyê de, valahî fîlamenta çekê elektronê diparêze. Katoda termîyonîk a ku elektronan derdixe di germahiyên pir bilind de dixebite û heke bikeve hewayê, dê hema hema tavilê oksîde bibe û bişewite.
Ji ber vê yekê, sîstemeke pompkirinê ya sofîstîke - ku pompên rijandinê û pompên valahiyek bilind ên wekî pompên turbomolekuler an belavbûnê bi hev re dike - pir girîng e. Di encamê de, pompa valahiyê ne tenê buharbûna tîrêjên elektronan çalak dike; ew wê diyar dike, girêdanek neşikestî çêdike ku ji bo hilberîna pêçanên performansa bilind ên ku ji hêla pîşesaziyan ve ji nîvconductoran bigire heya optîkê têne xwestin girîng e. Her weha divê hebe.fîlterji bo parastina pompên valahiyê, heke tune be,paqij bûn.
Dema weşandinê: 12ê Mijdarê-2025
