Pêçandina buharê, pêvajoyek bingehîn a danîna buhara fîzîkî (PVD), bi bingehîn li ser teknolojiya valahiyê disekine. Pompa valahiyê ne tenê amûrek alîkar e, lê kevirê bingehîn e ku tevahiya pêvajoyê bi afirandin û parastina hawîrdorek di asta molekulî ya pir kontrolkirî de çalak dike. Fonksiyona wê ji rakirina hewayê ya sade wêdetir dirêj dibe, şert û mercên fîzîkî yên rast ên ku ji bo danîna fîlmên tenik ên fonksiyonel ên bi kalîte bilind hewce ne saz dike.
Sedema sereke ya pêwîstiya bi valahiyek bilind ew e ku rêwîtiya rasterast a perçeyên buharbûyî misoger bibe. Di zexta atmosferîk de, dendika bilind a molekulên gazê dibe sedema pevçûnên tavilê û bêserûber, û materyalê pêçanê belav dike. Di bin valahiyek bilind de (bi gelemperî 10⁻⁴ heta 10⁻⁶ mbar), rêya azad a navînî ya atom an molekulên buharbûyî bi awayekî berbiçav zêde dibe û digihîje çend metreyan, û dihêle ku ew rasterast ji çavkaniyê berbi substratê biçin. Ev yek kontrola rast li ser stûriya fîlmê, yekrengî û pêkhateyê gengaz dike.
Herwiha, hawîrdorek valahiyek bilind rê li ber oksîdasyon û gemarbûnê digire. Piraniya metalan (mînak, aluminium, krom) û pêkhateyên wê di germahiyên buharbûnê de pir reaktîf in. Nêzîkbûna jiholêrakirina gazên reaktîf ên wekî oksîjen û buhara avê piştrast dike ku materyal di rewşa xwe ya paqij, metalîk de têne hilanîn, ku ev yek ji bo bidestxistina taybetmendiyên optîkî, elektrîkî, an mekanîkî yên taybetî di pêça dawîn de girîng e. Ev hawîrdor di heman demê de bi derxistina gemaran, ku ev yek ji bo girêdana fîlmê ya bihêz girîng e, rûyek substratek atomîkî paqij peyda dike.
Sîstema pompa valahiyê wekî endezyarek jîngehê tevdigere. Divê ew bi lez û bez zexta bingehîn a pêwîst saz bike, bi rakirina gaza derxîner ji materyal û amûran bi awayekî dînamîk aramiyê biparêze, û di pêvajoyên reaktîf de bi berhemên alî re mijûl bibe. Ev aramî ji bo kalîteya hilberîna domdar a ji komî heta komî girîng e.
Pêdiviya krîtîk a ji bo parzûnkirinê ji parastina vê pergala rast derdikeve holê. Pêvajoya pêçandinê bi xwe dikare madeyên perçeyên zirav, dilopên şilbûyî, an buharên ku dikarin werin kondenskirin çêbike. Bêyî guncawfîltera ketinê, ev gemar dikarin dîsa werin kişandin nav pompa valahiyê. Ev dibe sedema zêdebûna xitimandina rotor û pelan, gemarbûna rûnê pompê (di pergalên bi rûn-morkirî de), û xirabûna hêdî hêdî ya leza pompê û valahiya dawîn. Di dawiyê de, ev yek aramiya pêvajoyê dixe xeterê, temenê karûbarê pompê kurt dike, û lêçûnên lênêrînê zêde dike. Ji ber vê yekê, sazkirina fîlterên guncan - wekî fîlterên perçeyan, dafikên molekulî, an dafikên sar - ne vebijarkî ye lê veberhênanek girîng e ji bo parastina pompa valahiyê, misogerkirina kalîteya pêçandina domdar, û parastina dema xebitandina hilberînê.
Bi tevayî, pompên vakûmê bi peydakirina hawîrdorek paqij, bêqisûr û kontrolkirî ji bo veguhastina materyalan û çêbûna fîlmê, pêçandina buharkirinê çalak dikin. Hevgirtina vê şiyanê bi stratejiyek parzûnkirinê ya xurt re ji bo bidestxistina hilberîna fîlma zirav a pêbawer, performansa bilind û aborî girîng e.
Dema şandinê: 25ê Kanûna Pêşîn a 2025an
