Wat ass Vakuumbeschichtung?
Vakuumbeschichtung ass eng fortgeschratt Technologie, déi funktionell dënn Schichten op d'Uewerfläch vu Substrater duerch physikalesch oder chemesch Methoden an engem Vakuumëmfeld ofsetzt. Säi Kärwäert läit an héijer Rengheet, héijer Präzisioun an Ëmweltschutz a gëtt wäit verbreet an der Optik, Elektronik, Handwierksgeschir, neier Energie an anere Beräicher benotzt.
Muss de Vakuumbeschichtungssystem mat Inletfilteren ausgestatt sinn?
Als éischt, loosst eis erausfannen, wat déi üblech Schadstoffer bei der Vakuumbeschichtung sinn. Zum Beispill Partikelen, Stëbs, Uelegdamp, Waasserdamp, etc. Dës Schadstoffer, déi an d'Beschichtungskammer kommen, verursaachen eng Oflagerungsquote, eng ongläichméisseg Filmschicht a souguer Schued un der Ausrüstung.
D'Situatioun wou Vakuumbeschichtung Inletfilter erfuerdert
- Wärend dem Beschichtungsprozess sprëtzt dat Zilmaterial Partikelen.
- D'Ufuerderung un d'Reinheet vun der Filmschicht ass héich, besonnesch an de Beräicher vun der Optik an den Halbleiter.
- Et gëtt korrosiv Gaser (déi liicht beim reaktive Sputteren entstinn). An dësem Fall ass de Filter haaptsächlech installéiert fir d'Vakuumpompel ze schützen.
D'Situatioun wou d'Vakuumbeschichtung keng Inletfilter erfuerdert
- Vill Vakuumbeschichtungsdéngschtleeschter benotzen e komplett uelegfräit Héichvakuumsystem (wéi Molekularpompel + Ionenpompel), an d'Aarbechtsëmfeld ass propper. Dofir ass et net néideg fir Inletfilter oder souguer Auspufffilter.
- Et gëtt eng aner Situatioun, wou keng Inletfilter erfuerderlech sinn, dat heescht, d'Reinheetsufuerderung vun der Filmschicht ass net héich, wéi zum Beispill fir verschidde dekorativ Beschichtungen.
Anerer iwwer Uelegdiffusiounspompel
- Wann eng Uelegpompel oder Uelegdiffusiounspompel benotzt gëtt,Auspufffiltermuss installéiert ginn.
- Polymerfilterelement ass net resistent géint héich Temperaturen vun der Diffusiounspompel
- Wann eng Uelegdiffusiounspomp benotzt gëtt, kann den Ueleg vun der Pompel zréckfléissen an d'Beschichtungskammer kontaminéieren. Dofir ass eng Kaltfäll oder Uelegschüttel noutwendeg, fir den Accident ze vermeiden.
Schlussendlech, ob de Vakuumbeschichtungssystem néideg assInletfilterhänkt vun de Prozessufuerderungen, dem Systemdesign an dem Kontaminatiounsrisiko of.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 19. Abrëll 2025
