ໃນໂລກທີ່ຊັບຊ້ອນຂອງການຊຶມເຊື້ອຂອງຟິມບາງໆ, ການລະເຫີຍຂອງລໍາອິເລັກຕອນ (e-beam) ໂດດເດັ່ນສໍາລັບຄວາມສາມາດໃນການສ້າງສານເຄືອບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຫນາແຫນ້ນ. ຄໍາຖາມພື້ນຖານກ່ຽວກັບເຕັກໂນໂລຢີນີ້ແມ່ນວ່າມັນຕ້ອງການເຄື່ອງດູດຝຸ່ນບໍ? ຄໍາຕອບແມ່ນແນ່ນອນແມ່ນແລ້ວ. ລະບົບສູນຍາກາດທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງບໍ່ແມ່ນພຽງແຕ່ອຸປະກອນເສີມແຕ່ເປັນເງື່ອນໄຂເບື້ອງຕົ້ນຢ່າງແທ້ຈິງສໍາລັບຂະບວນການເຮັດວຽກຢ່າງມີປະສິດທິພາບແລະປະສິດທິພາບ.
ຫຼັກຂອງການລະເຫີຍຂອງ e-beam ກ່ຽວຂ້ອງກັບການສຸມໃສ່ beam ເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານສູງໃສ່ອຸປະກອນການ (ເຊັ່ນ: ຄໍາ, silicon oxide, ຫຼືອາລູມິນຽມ) ບັນຈຸຢູ່ໃນ crucible ນ້ໍາເຢັນ. ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນທ້ອງຖິ່ນທີ່ຮຸນແຮງເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸລະລາຍແລະເປັນໄອ. ຈາກນັ້ນປະລໍາມະນູ vaporized ເຫຼົ່ານີ້ເດີນທາງໃນເສັ້ນທາງຂອງສາຍຕາແລະ condense ສຸດ substrate, ປະກອບເປັນຮູບເງົາບາງ. ລຳດັບທັງໝົດນີ້ແມ່ນຂຶ້ນກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສູນຍາກາດສູງ, ໂດຍປົກກະຕິຢູ່ລະຫວ່າງ 10⁻³ Pa ຫາ 10⁻⁶ Pa.
ຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບການສູນຍາກາດທີ່ສຸດດັ່ງກ່າວແມ່ນສາມເທົ່າ. ຫນ້າທໍາອິດ, ມັນຮັບປະກັນການເດີນທາງທີ່ບໍ່ມີອຸປະສັກຂອງ beam ເອເລັກໂຕຣນິກ. ໃນທີ່ປະທັບຂອງໂມເລກຸນອາຍແກັສຫຼາຍເກີນໄປ, ເອເລັກໂຕຣນິກຈະກະແຈກກະຈາຍແລະ collide, ສູນເສຍພະລັງງານຂອງເຂົາເຈົ້າແລະບໍ່ສາມາດສົ່ງຄວາມຮ້ອນທີ່ເຂັ້ມຂຸ້ນໄປສູ່ເປົ້າຫມາຍ. beam ຈະ defocus, rendering ຂະບວນການ ineffective.
ອັນທີສອງ, ແລະສໍາຄັນທີ່ສຸດ, ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດແລະຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາທີ່ຝາກໄວ້. ຖ້າບໍ່ມີມັນ, ອາຍແກັສທີ່ຕົກຄ້າງເຊັ່ນອົກຊີເຈນແລະໄອນ້ໍາຈະປົນເປື້ອນການເຄືອບໃນສອງວິທີທາງທີ່ຮ້າຍກາດ: ພວກມັນຈະປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີກັບວັດສະດຸທີ່ເປັນໄອນ້ໍາເພື່ອສ້າງເປັນຜຸພັງທີ່ບໍ່ຕ້ອງການ, ແລະພວກມັນຈະຖືກລວມເຂົ້າໃນຮູບເງົາທີ່ເຕີບໃຫຍ່ເປັນສິ່ງສົກກະປົກ. ອັນນີ້ສົ່ງຜົນໃຫ້ຮູບເງົາທີ່ມີຮູຂຸມຂົນ, ມີກາວໜ້ອຍ, ແລະມີຄຸນສົມບັດກົນຈັກ ແລະ ແສງທີ່ຕໍ່າກວ່າ. ການສູນຍາກາດສູງສ້າງເສັ້ນທາງທີ່ສະອາດ, " ballistic " ສໍາລັບປະລໍາມະນູ vaporized, ໃຫ້ເຂົາເຈົ້າສາມາດ condense ເປັນຊັ້ນຫນາແຫນ້ນ, ເປັນເອກະພາບ, ແລະມີຄວາມສົມບູນສູງ.
ສຸດທ້າຍ, ສູນຍາກາດປົກປ້ອງ filament ປືນເອເລັກໂຕຣນິກ. cathode ຄວາມຮ້ອນທີ່ປ່ອຍອິເລັກຕອນເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ສູງທີ່ສຸດແລະຈະ oxidize ແລະເຜົາໄຫມ້ເກືອບທັນທີຖ້າຖືກອາກາດ.
ດັ່ງນັ້ນ, ລະບົບການສູບນ້ໍາທີ່ຊັບຊ້ອນ - ການລວມເອົາປັ໊ມທີ່ຫຍາບຄາຍແລະປັ໊ມສູນຍາກາດສູງເຊັ່ນ turbomolecular ຫຼືປັ໊ມແຜ່ກະຈາຍ - ແມ່ນສິ່ງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້. ສະຫຼຸບແລ້ວ, ປັ໊ມສູນຍາກາດບໍ່ພຽງແຕ່ເຮັດໃຫ້ການລະເຫີຍຂອງອີເລັກໂທຣນິກ; ມັນກໍານົດມັນ, ປະກອບເປັນພັນທະບັດທີ່ບໍ່ສາມາດທໍາລາຍໄດ້ທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການຜະລິດການເຄືອບທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງທີ່ຕ້ອງການໂດຍອຸດສາຫະກໍາຈາກ semiconductors ກັບ optics. ຄວນຈະມີການກັ່ນຕອງເພື່ອປົກປ້ອງເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ, ຖ້າບໍ່ມີ,ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາ.
ເວລາປະກາດ: 12-11-2025
