ຄໍາຖາມທົ່ວໄປໃນການຜະລິດແບບກ້າວຫນ້າແມ່ນ: ການເຊື່ອມໂລຫະ Electron Beam (EBW) ຕ້ອງການປັ໊ມສູນຍາກາດບໍ? ຄໍາຕອບສັ້ນໆແມ່ນເປັນສຽງດັງແມ່ນແມ່ນ, ໃນສ່ວນໃຫຍ່ຂອງກໍລະນີ. ປັ໊ມສູນຍາກາດບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນອຸປະກອນເສີມ, ແຕ່ເປັນຫົວໃຈຂອງລະບົບ EBW ແບບດັ້ງເດີມ, ເຮັດໃຫ້ຄວາມສາມາດພິເສດຂອງມັນ.
ຫຼັກຂອງ EBW ກ່ຽວຂ້ອງກັບການສ້າງກະແສໄຟຟ້າທີ່ມີຄວາມໄວສູງເພື່ອລະລາຍ ແລະ fuse ວັດສະດຸ. ຂະບວນການນີ້ແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວພິເສດຕໍ່ກັບໂມເລກຸນອາຍແກັສ. ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ບໍ່ມີບ່ອນສູນຍາກາດ, ໂມເລກຸນເຫຼົ່ານີ້ຈະເຂົ້າກັນກັບອິເລັກຕອນ, ເຮັດໃຫ້ລໍາແສງກະແຈກກະຈາຍ, ສູນເສຍພະລັງງານ, ແລະ defocus. ຜົນໄດ້ຮັບອາດຈະເປັນການເຊື່ອມໂລຫະທີ່ກວ້າງ, ບໍ່ຊັດເຈນ, ແລະບໍ່ມີປະສິດຕິຜົນ, ທໍາລາຍຈຸດປະສົງຂອງຄວາມຖືກຕ້ອງແລະເຈາະເລິກຂອງ EBW. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, cathode ຂອງປືນເອເລັກໂຕຣນິກ, ເຊິ່ງປ່ອຍອິເລັກຕອນ, ເຮັດວຽກຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ສູງທີ່ສຸດແລະຈະ oxidize ແລະເຜົາໄຫມ້ອອກທັນທີຖ້າຖືກອາກາດ.
ດັ່ງນັ້ນ, High-Vacuum EBW, ຮູບແບບທີ່ແຜ່ຫຼາຍ, ຕ້ອງການສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດພິເສດ, ໂດຍປົກກະຕິລະຫວ່າງ 10⁻² ຫາ 10⁻⁴ Pa. ປັ໊ມທີ່ຫຍາບຄາຍທໍາອິດຈະເອົາສ່ວນໃຫຍ່ຂອງບັນຍາກາດອອກ, ຕິດຕາມດ້ວຍປັ໊ມສູນຍາກາດສູງ, ຄ້າຍຄືປັ໊ມແຜ່ກະຈາຍຫຼື turbomolecular pump, ເຊິ່ງສ້າງເງື່ອນໄຂທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການປະຕິບັດງານທີ່ດີທີ່ສຸດ. ນີ້ຮັບປະກັນການເຊື່ອມໂລຫະທີ່ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນ, ມີຄວາມສົມບູນສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນຂາດບໍ່ໄດ້ສໍາລັບການນໍາໃຊ້ທາງອາກາດ, ທາງການແພດ, ແລະ semiconductor.
ການປ່ຽນແປງທີ່ເອີ້ນວ່າ Medium ຫຼື Soft-Vacuum EBW ດໍາເນີນການດ້ວຍຄວາມກົດດັນທີ່ສູງຂຶ້ນ (ປະມານ 1-10 Pa). ໃນຂະນະທີ່ມັນຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນເວລາສູບນ້ໍາລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍເພື່ອໃຫ້ຜົນຜະລິດທີ່ດີກວ່າ, ມັນຍັງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີເຄື່ອງດູດຝຸ່ນຢ່າງແທ້ຈິງເພື່ອຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມກົດດັນຕ່ໍາເພື່ອປ້ອງກັນການກະແຈກກະຈາຍແລະການຜຸພັງຫຼາຍເກີນໄປ.
ຂໍ້ຍົກເວັ້ນທີ່ໂດດເດັ່ນແມ່ນ EBW ທີ່ບໍ່ແມ່ນສູນຍາກາດ, ບ່ອນທີ່ການເຊື່ອມໂລຫະໄດ້ຖືກປະຕິບັດໃນບັນຍາກາດເປີດ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ນີ້ແມ່ນເຮັດໃຫ້ເຂົ້າໃຈຜິດ. ໃນຂະນະທີ່ຫ້ອງເຮັດວຽກຖືກກໍາຈັດ, ປືນເອເລັກໂຕຣນິກຍັງຖືກຮັກສາໄວ້ພາຍໃຕ້ສູນຍາກາດສູງ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, beam ໄດ້ຖືກຄາດຄະເນໂດຍຜ່ານຊຸດຂອງຮູຮັບແສງຄວາມກົດດັນທີ່ແຕກຕ່າງກັນເຂົ້າໄປໃນອາກາດ. ວິທີການນີ້ທົນທຸກຈາກການກະແຈກກະຈາຍຂອງ beam ທີ່ສໍາຄັນແລະຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການປ້ອງກັນ X-ray ທີ່ເຂັ້ມງວດ, ຈໍາກັດການນໍາໃຊ້ຂອງມັນກັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີປະລິມານສູງສະເພາະ.
ສະຫລຸບລວມແລ້ວ, ການປະສົມປະສານລະຫວ່າງ beam ເອເລັກໂຕຣນິກແລະປັ໊ມສູນຍາກາດແມ່ນສິ່ງທີ່ກໍານົດເຕັກໂນໂລຢີທີ່ມີປະສິດທິພາບນີ້. ສໍາລັບການບັນລຸຄຸນນະພາບສູງສຸດແລະຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ EBW ມີຊື່ສຽງສໍາລັບ, ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນບໍ່ແມ່ນທາງເລືອກ - ມັນເປັນຄວາມຈໍາເປັນພື້ນຖານ.
ເວລາປະກາດ: 10-11-2025
