ການເຄືອບລະເຫີຍ, ຂະບວນການສະສົມໄອນ້ຳທາງກາຍະພາບຫຼັກ (PVD), ໂດຍພື້ນຖານແລ້ວແມ່ນອີງໃສ່ເຕັກໂນໂລຊີສູນຍາກາດ. ປໍ້າສູນຍາກາດບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນອຸປະກອນຊ່ວຍເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງເປັນພື້ນຖານທີ່ຊ່ວຍໃຫ້ຂະບວນການທັງໝົດສາມາດສ້າງ ແລະ ຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມລະດັບໂມເລກຸນທີ່ມີການຄວບຄຸມສູງ. ໜ້າທີ່ຂອງມັນຂະຫຍາຍໄປໄກກວ່າການກຳຈັດອາກາດແບບງ່າຍໆ, ສ້າງຕັ້ງເງື່ອນໄຂທາງກາຍະພາບທີ່ແນ່ນອນທີ່ຕ້ອງການສຳລັບການສະສົມຟິມບາງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.
ເຫດຜົນຫຼັກທີ່ຕ້ອງການສູນຍາກາດສູງແມ່ນເພື່ອຮັບປະກັນການເດີນທາງເສັ້ນຊື່ຂອງອະນຸພາກທີ່ລະເຫີຍ. ທີ່ຄວາມກົດດັນຂອງບັນຍາກາດ, ຄວາມໜາແໜ້ນສູງຂອງໂມເລກຸນອາຍແກັສເຮັດໃຫ້ເກີດການປະທະກັນທັນທີ ແລະ ແບບສຸ່ມ, ເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸເຄືອບກະແຈກກະຈາຍ. ພາຍໃຕ້ສູນຍາກາດສູງ (ໂດຍປົກກະຕິ 10⁻⁴ ຫາ 10⁻⁶ mbar), ເສັ້ນທາງເສລີສະເລ່ຍຂອງອະຕອມ ຫຼື ໂມເລກຸນທີ່ລະເຫີຍເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍເປັນຫຼາຍແມັດ, ຊ່ວຍໃຫ້ພວກມັນເດີນທາງໂດຍກົງຈາກແຫຼ່ງໄປຫາຊັ້ນຮອງພື້ນ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມຄວາມໜາຂອງຟິມ, ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ສ່ວນປະກອບໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນ.
ນອກຈາກນັ້ນ, ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງຊ່ວຍປ້ອງກັນການຜຸພັງ ແລະ ການປົນເປື້ອນ. ໂລຫະສ່ວນໃຫຍ່ (ເຊັ່ນ: ອາລູມິນຽມ, ໂຄຣມຽມ) ແລະ ສານປະກອບມີປະຕິກິລິຍາສູງໃນອຸນຫະພູມການລະເຫີຍ. ການກຳຈັດອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາເຊັ່ນ: ອົກຊີເຈນ ແລະ ໄອນ້ຳເກືອບຈະຮັບປະກັນວ່າວັດສະດຸຈະຕົກຄ້າງຢູ່ໃນສະພາບໂລຫະທີ່ບໍລິສຸດ, ເຊິ່ງມີຄວາມສຳຄັນຕໍ່ການບັນລຸຄຸນສົມບັດທາງດ້ານແສງ, ໄຟຟ້າ, ຫຼື ກົນຈັກສະເພາະໃນການເຄືອບສຸດທ້າຍ. ສະພາບແວດລ້ອມນີ້ຍັງໃຫ້ພື້ນຜິວຊັ້ນຮອງພື້ນທີ່ສະອາດແບບອາຕອມໂດຍການກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນ, ເຊິ່ງມີຄວາມຈຳເປັນສຳລັບການຍຶດຕິດຂອງຟິມທີ່ແຂງແຮງ.
ລະບົບປັ໊ມສູນຍາກາດເຮັດໜ້າທີ່ເປັນວິສະວະກອນສິ່ງແວດລ້ອມ. ມັນຕ້ອງສ້າງຄວາມດັນພື້ນຖານທີ່ຕ້ອງການຢ່າງວ່ອງໄວ, ຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງແບບໄດນາມິກໂດຍການກຳຈັດອາຍແກັສອອກຈາກວັດສະດຸ ແລະ ອຸປະກອນຕ່າງໆ, ແລະ ຈັດການກັບຜະລິດຕະພັນຂ້າງຄຽງໃນຂະບວນການທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ. ຄວາມໝັ້ນຄົງນີ້ແມ່ນກຸນແຈສຳຄັນສຳລັບຄຸນນະພາບການຜະລິດແບບ batch-to-batch ທີ່ສອດຄ່ອງ.
ຄວາມຕ້ອງການທີ່ສຳຄັນສຳລັບການກັ່ນຕອງເກີດຂຶ້ນຈາກການປົກປ້ອງລະບົບທີ່ແນ່ນອນນີ້. ຂະບວນການເຄືອບເອງສາມາດສ້າງອະນຸພາກທີ່ລະອຽດ, ຢອດນ້ຳທີ່ກະຈັດກະຈາຍ, ຫຼື ໄອທີ່ກັ່ນຕົວໄດ້. ຖ້າບໍ່ມີຕົວກອງທາງເຂົ້າ, ສິ່ງປົນເປື້ອນເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຖືກດຶງກັບຄືນສູ່ປໍ້າສູນຍາກາດ. ສິ່ງນີ້ນໍາໄປສູ່ການສວມໃສ່ຂອງ rotors ແລະ blades ເພີ່ມຂຶ້ນ, ການປົນເປື້ອນຂອງນໍ້າມັນປໍ້າ (ໃນລະບົບທີ່ຜະນຶກດ້ວຍນໍ້າມັນ), ແລະ ການເສື່ອມສະພາບຂອງຄວາມໄວປໍ້າ ແລະ ສູນຍາກາດໃນທີ່ສຸດ. ໃນທີ່ສຸດ, ສິ່ງນີ້ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ, ເຮັດໃຫ້ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງປໍ້າສັ້ນລົງ, ແລະ ເພີ່ມຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາ. ດັ່ງນັ້ນ, ການຕິດຕັ້ງຕົວກອງທີ່ເໝາະສົມ - ເຊັ່ນ: ຕົວກອງອະນຸພາກ, ກັບດັກໂມເລກຸນ, ຫຼື ກັບດັກເຢັນ - ບໍ່ແມ່ນທາງເລືອກແຕ່ເປັນການລົງທຶນທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການປົກປ້ອງປໍ້າສູນຍາກາດ, ຮັບປະກັນຄຸນນະພາບການເຄືອບທີ່ສອດຄ່ອງ, ແລະ ປົກປ້ອງເວລາການຜະລິດ.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, ປໍ້າສູນຍາກາດຊ່ວຍໃຫ້ການເຄືອບລະເຫີຍໄດ້ໂດຍການສະໜອງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ບໍລິສຸດ, ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນ, ແລະ ຄວບຄຸມໄດ້ສຳລັບການຂົນສົ່ງວັດສະດຸ ແລະ ການສ້າງຟິມ. ການເຊື່ອມໂຍງຄວາມສາມາດນີ້ກັບກົນລະຍຸດການກັ່ນຕອງທີ່ແຂງແຮງແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການບັນລຸການຜະລິດຟິມບາງທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື, ມີປະສິດທິພາບສູງ ແລະ ປະຫຍັດ.
ເວລາໂພສ: ວັນທີ 25 ທັນວາ 2025
