Kas yra vakuuminis dengimas?
Vakuuminis dengimas yra pažangi technologija, kurios metu vakuuminėje aplinkoje fizikiniais arba cheminiais metodais ant substrato paviršiaus nusodinamos funkcinės plonos plėvelės. Jos pagrindinė vertė yra didelis grynumas, didelis tikslumas ir aplinkos apsauga, todėl ji plačiai naudojama optikoje, elektronikoje, įrankiuose, naujosios energijos ir kitose srityse.
Ar vakuuminio dengimo sistemoje reikia įrengti įleidimo filtrus?
Pirmiausia išsiaiškinkime, kokie yra dažniausiai pasitaikantys vakuuminio dengimo teršalai. Pavyzdžiui, dalelės, dulkės, alyvos garai, vandens garai ir kt. Šie teršalai, patekę į dengimo kamerą, sumažins nusodinimo greitį, nelygaus plėvelės sluoksnio susidarymą ir netgi sugadins įrangą.
Situacija, kai vakuuminiam dengimui reikalingi įleidimo filtrai
- Dengimo proceso metu tikslinė medžiaga taškosi dalelėmis.
- Plėvelės sluoksnio grynumo reikalavimas yra didelis, ypač optikos ir puslaidininkių srityse.
- Yra korozinių dujų (lengvai susidarančių reaktyvaus dulkinimo metu). Šiuo atveju filtras daugiausia montuojamas siekiant apsaugoti vakuuminį siurblį.
Situacija, kai vakuuminiam dengimui nereikia įleidimo filtrų
- Daugelis vakuuminio dengimo paslaugų teikėjų naudoja visiškai bealyvę aukšto vakuumo sistemą (pvz., molekulinį siurblį + jonų siurblį), todėl darbo aplinka yra švari. Todėl nereikia įleidimo ar net išmetimo filtrų.
- Yra ir kita situacija, kai įleidimo filtrai nereikalingi, tai yra, plėvelės sluoksnio grynumo reikalavimas nėra didelis, pavyzdžiui, kai kurioms dekoratyvinėms dangoms.
Kiti apie alyvos difuzijos siurblį
- Jei naudojamas alyvos siurblys arba alyvos difuzijos siurblys,išmetimo filtrasturi būti įdiegta.
- Polimerinis filtro elementas nėra atsparus difuzinio siurblio aukštai temperatūrai
- Naudojant alyvos difuzijos siurblį, siurblio alyva gali tekėti atgal ir užteršti dengimo kamerą. Todėl, kad būtų išvengta avarijos, reikalinga šaltoji gaudyklė arba alyvos pertvara.
Apibendrinant, ar reikia vakuuminės dengimo sistemosįleidimo filtraipriklauso nuo proceso reikalavimų, sistemos konstrukcijos ir užteršimo rizikos.
Įrašo laikas: 2025 m. balandžio 19 d.
