Garinimo dengimas, pagrindinis fizikinio garinimo nusodinimo (PVD) procesas, iš esmės remiasi vakuumine technologija. Vakuuminis siurblys yra ne tik pagalbinis įrenginys, bet ir kertinis akmuo, leidžiantis vykdyti visą procesą, sukuriant ir palaikant labai kontroliuojamą molekulinio masto aplinką. Jo funkcija apima daug daugiau nei paprastas oro pašalinimas, nes jis sukuria tikslias fizines sąlygas, reikalingas aukštos kokybės funkcinėms plonoms plėvelėms nusodinti.
Pagrindinė aukšto vakuumo reikalingumo priežastis yra užtikrinti tiesų išgaravusių dalelių judėjimą. Esant atmosferos slėgiui, didelis dujų molekulių tankis sukelia staigius ir atsitiktinius susidūrimus, išsklaidančius dengiamąją medžiagą. Esant aukštam vakuumui (paprastai nuo 10⁻⁴ iki 10⁻⁶ mbar), vidutinis laisvas išgaravusių atomų ar molekulių kelias smarkiai padidėja iki kelių metrų, todėl jie gali keliauti tiesiai iš šaltinio į pagrindą. Tai leidžia tiksliai kontroliuoti plėvelės storį, vienodumą ir sudėtį.
Be to, aukšto vakuumo aplinka apsaugo nuo oksidacijos ir užteršimo. Dauguma metalų (pvz., aliuminis, chromas) ir junginių yra labai reaktyvūs garavimo temperatūroje. Beveik visiškas reaktyviųjų dujų, tokių kaip deguonis ir vandens garai, pašalinimas užtikrina, kad medžiagos nusodintųsi grynoje, metalinėje būsenoje, o tai yra labai svarbu norint pasiekti specifines optines, elektrines ar mechanines savybes galutinėje dangoje. Ši aplinka taip pat suteikia atomiškai švarų pagrindo paviršių, desorbuodama teršalus, o tai būtina stipriam plėvelės sukibimui.
Vakuuminio siurblio sistema veikia kaip aplinkos inžinierius. Ji turi greitai nustatyti reikiamą bazinį slėgį, dinamiškai palaikyti stabilumą šalindama iš medžiagų ir įtaisų išsiskiriančias dujas ir tvarkyti šalutinius produktus reaktyviuosiuose procesuose. Šis stabilumas yra labai svarbus norint užtikrinti nuoseklią partijų gamybos kokybę.
Kritinis filtravimo poreikis kyla dėl šios tikslios sistemos apsaugos. Pats dengimo procesas gali sukelti smulkių kietųjų dalelių, taškomų lašelių arba kondensuojančių garų. Be tinkamoįleidimo filtrasŠie teršalai gali būti įtraukti atgal į vakuuminį siurblį. Dėl to padidėja rotorių ir menčių susidėvėjimas, užteršiama siurblio alyva (sandariose sistemose) ir palaipsniui mažėja siurbimo greitis bei galutinis vakuumas. Galiausiai tai kenkia proceso stabilumui, sutrumpina siurblio tarnavimo laiką ir padidina priežiūros išlaidas. Todėl tinkamų filtrų, tokių kaip kietųjų dalelių filtrai, molekuliniai gaudyklės arba šalčio gaudyklės, įrengimas yra ne tik neprivaloma, bet ir gyvybiškai svarbi investicija, skirta apsaugoti vakuuminį siurblį, užtikrinti pastovią dangos kokybę ir gamybos laiką.
Apskritai vakuuminiai siurbliai leidžia atlikti garinimo dengimą, užtikrindami švarią, neužterštą ir kontroliuojamą aplinką medžiagų transportavimui ir plėvelės formavimui. Šios galimybės derinimas su patikima filtravimo strategija yra būtinas norint pasiekti patikimą, našią ir ekonomišką plonasluoksnių dangų gamybą.
Įrašo laikas: 2025 m. gruodžio 25 d.
